為實(shí)現(xiàn)真空裝置的程序控制、真空工藝流程的自動(dòng)轉(zhuǎn)換、真空工藝參數(shù)的自動(dòng)調(diào)節(jié)，通常是用一些自動(dòng)控制元件、真空計(jì)、壓力控制儀和工業(yè)自動(dòng)化儀表、自動(dòng)控制裝置、微型計(jì)算機(jī)等組成的自動(dòng)控制系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)。不同的真空裝置其自動(dòng)控制系統(tǒng)不同，即使是同一類型真空裝置，因控制的技術(shù)要求不同，所采用的自動(dòng)...
