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真空裝置的計算機控制系統是由硬件和軟件組成。所謂硬件,即系統的控制裝置,它是由計算機及相關的外圍設備、測量裝置(如真空計、測溫儀表等)和執行機構等構成。至于計算機可以是工業控制機,也可以根據真空裝置的要求,選擇某種類型的微型計算機、單片機,配置適當的接口電路及外圍設備構成。所謂軟...
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