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彈性變形真空規(guī)是利用彈性元件隨氣壓變化所產(chǎn)生的變形來(lái)測(cè)量壓差的一種真空規(guī)。它的特點(diǎn)是：規(guī)管靈敏度與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)，對(duì)被測(cè)氣體干擾小，可測(cè)腐蝕性氣體和可凝蒸氣的壓力。 此類(lèi)規(guī)存在的主要問(wèn)題是，金屬?gòu)椥栽娜渥儸F(xiàn)象和彈性系...