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影響現實真空系統的因素——殘余氣體組成

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2015-05-04 閱讀

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殘余氣體組成在超高真空中工作時，重要的是，在開始真空工藝之前或為了監控工藝，需要了解殘余氣體的組成。水的百分比(m/e = 18) 及其不完整部分 OH (m/e = 17) 在真空室不干凈或烘烤不徹底的情況下降會很大。在 N2/O2 之比大約為4:1 時，可通過氮(m/e = ...