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離子源用于檢查 UHV 或者甚至 XHV 應用中的殘余氣體。其極其開放的結構和材料的選擇確保了非常低的內部氣體排放。該離子源配備了兩個可同時加熱脫氣的鎢絲。 如果在低于 10 -11 hPa 的壓力下執行工作，特...
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