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四級桿質譜儀這些裝置單純用作殘余氣體分析儀或工藝氣體分析儀以及泄漏檢測儀。用于在較高壓力下分析混合氣體的進氣系統（包括泄漏檢測）。基于四級桿質譜儀的氣體分析系統可以用作多氣體泄漏探測器。 圖 7.2 中所示泄漏探測器的質譜儀單元也只在低于 10-4 hPa的壓力下工作。在泄漏探測器中，壓力由泄漏探測器...
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