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灰塵是小尺寸器件集成電路生產的天敵。在開發集成電路的過程中,已經開發了有效的方法來消除生產環境中的灰塵。 如有尺寸與電路結構元件相當的灰塵顆粒(臨界尺寸,CD)或更大的灰塵顆粒意外進入設備中,會引發很多問題。22nm 的硅結構只包括 41 個 Si 原子。根據這一標準,不僅顆粒構成了挑戰,甚至分子造成的污染也成為越來越大的挑戰。這些污染...
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