【康沃真空網】油封式機械真空泵按結構型式可分為定片式、旋片式和滑閥式三種。他們都是利用真空泵油來潤滑、密封和降溫;都是靠轉子在泵殼內運動使轉子、葉片、泵殼之間的容積周期性變化,以達到抽氣和排氣的目的。
一、定片式真空泵
其結構簡單且使用壽命長,檢修容易,雙級泵的極限真空度可達10–3Torr,但抽速較小,應用很少。
二、旋片式真空泵
分為單級旋片式真空泵(由定子、旋片、轉子等組成,只有一個工作室)和雙級旋片式真空泵(它由兩個工作室組成,兩室前后串聯,同向等速旋轉,Ⅰ室為Ⅱ室的前級)。
三、滑閥式真空泵
主要由泵體及內部做偏心轉動的滑閥部件、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等組成。