低溫泵使用中的注意事項
1.低溫泵口熱負荷的影響
低溫泵人口障板的熱負荷一般是按300K氣體計算的,如果低溫泵入口溫度過高,應采用一定的方法將熱源屏蔽。否則可能使入口障板溫度超過100K,直接影響吸附陣的溫度,影響捕獲氣體。
2.低溫泵突然斷電對運行的影響
低溫泵連續運行中,活性炭吸附氦已飽和。如果短時間停電,使吸附陣回溫,氦氣將釋放出來。水蒸氣也將從二級冷屏及障板上解吸出來,被吸附陣吸附。在這種情況下,低溫泵需要再生處理。
3.低溫系配置壓機的氦氣純度
氦壓機需要充以高純氬,要求99.999%,氖是最常見雜質,可能凝在一級成二級冷頭腔內的低溫表面,導致密封件的磨損，氦壓機檢修時要特別注意充氦方法、不能帶入空氣,否則會使管路堵塞。
4.油霧對低溫泵的影響
低溫泵使用,若真空室中有油霧氣源,會污染吸附陣中的活性炭,使之失去抽氣能力。在低溫泵再生時,也同樣需要防止油污染活性炭。
5.抽除有危險的氣體
低溫泵不宜用于抽除危險性氣體,捕獲之后,再生時釋放出來，危及環境及人身安全。
6.低溫系上的安全閥
低溫泵再生時,由于溫度升高,使之捕獲的氣體有時瞬間釋放出來,造成低溫泵腔體內壓力升高,危及泵的安全。為此,低溫泵必須安裝安全閥,以便超壓時放氣。安全閥需要定期檢査,大型真空系統,低溫泵有時安裝高度較高,操作人員不易操作,更需要注意安全閥的可靠性,否則會造成大事故。
