羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風機演變而來的。根據羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。一般來說,羅茨泵具有以下特點:
在較寬的壓強范圍內有較大的抽速;
起動快,能立即工作;
對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感;
轉子不必潤滑,泵腔內無油;
振動小,轉子動平衡條件較好,沒有排氣閥;
驅動功率小,機械摩擦損失小;
結構緊湊,占地面積小;
運轉維護費用低。
因此,羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業部門得到廣泛的應用。