真空閥門
在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向,調(diào)節(jié)氣流量大小;切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件稱為真空閥門。
真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用:
(1)開關氣路
(2)控制氣流大小，調(diào)節(jié)真空度
(3)定量充氣
1、 開關電路。如圖13-1 ，當高真空閥2和前級閥4關閉，預抽閥7打開時，機 械真空閥抽真空氣流流經(jīng)預真空抽氣管道。當閥7打開機械閥可單獨對擴散閥抽真空。當閥2和閥4同時打開時L擴散泵和機械泵可同時工作,對容進行抽真空此時氣流進擴散閥。閥門在這種工藝操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經(jīng)路線。
2、控制氣流大小，調(diào)節(jié)真空度。調(diào)節(jié)閥門2的閥蓋的開啟角度即可調(diào)節(jié)流經(jīng)光路的氣流量大小;關閉閥2和閥4，通過放氣閥6可以給機械閥的入口放氣;通過放氣閥6可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。
3、定量充氣如圖13-2在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶聯(lián)通時，小洞中就可充滿高壓氣體 :當它轉向左邊和真空容器聯(lián)通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。
真空閥門的分類和型號
真空閥門的主要性能是他的流導、漏氣率、開閉動作的精確性和可靠程度，以及閥門的開閉時間。
真空閥門種類很多， 在設計真空系統(tǒng)時根據(jù)用途、尺寸、性能、結構等進行選擇。國產(chǎn)真空閥門]的型號是按其性能結構形式、驅動方式、通道方式、及通道直徑大小、材料和用途進行分類的
真空閥門的型號按如下順序和內(nèi)容確定
基本型號輔助型號
①②③-④⑤⑥
各符號所采用的字母及代表意義見表13-2.
如DDC-J50Q,表示低真空擋板式電磁閥，直角式，公稱直徑500mm, 帶充氣功能閥門。這種閥門多用于機械泵的進氣口上，停泵時閥門關閉，切斷系統(tǒng)的同時保持系統(tǒng)內(nèi)的真空，同時給機械泵泵腔內(nèi)放入大氣，以防止機械泵返油
