【康沃真空網(wǎng)】在超高真空下，氣體的成分常常是極不相同的。在氣體成分未明的情況下，超高真空計(jì)的讀數(shù)就無(wú)法確定其對(duì)應(yīng)的壓力。如果電離真空計(jì)是以空氣或氮校準(zhǔn)的，所測(cè)得的壓力值為與混合氣體離子流總和相對(duì)應(yīng)的等效空氣壓力或等效氮壓力。
由于電離真空計(jì)對(duì)不同氣體的相對(duì)靈敏度相差很大，因此，電離真空計(jì)對(duì)混合氣體測(cè)得的等效氮壓力不是混合氣體的真實(shí)壓力，有時(shí)甚至?xí)袛?shù)量級(jí)的誤差。為了測(cè)量真空中混合氣體組分和相應(yīng)的分壓力值，必須進(jìn)行分壓力測(cè)量，所用的儀器稱為分壓力真空計(jì)。由分壓力真空計(jì)測(cè)得的混合氣體各組分分壓力之和才是其全壓力，這就同時(shí)給出了真空的量與質(zhì)兩個(gè)方面。
分壓力真空計(jì)是專用的小型質(zhì)譜儀器——真空質(zhì)譜計(jì)。目前的分壓力真空計(jì)，大多數(shù)由于精度不夠高，只能用于分析氣體各種成分的存在并估計(jì)其大小，尚未能進(jìn)行定量測(cè)定，這時(shí)稱為殘余氣體分析器。
作為分壓力真空計(jì)或殘余氣體分析器的真空質(zhì)譜計(jì)都屬于電離類型的，按原子離子或分子離子的質(zhì)荷比進(jìn)行分析，分析有三個(gè)階段：
1、在離子源中用電子碰撞的辦法將氣體電離。
2、在質(zhì)量分析器中利用磁偏轉(zhuǎn)、共振、飛行時(shí)間不同等質(zhì)量分離技術(shù)，將離子按質(zhì)荷比不同進(jìn)行分離。
3、檢測(cè)器(或離子收集極)接收分離的離子，將離子流放大，在顯示裝置上顯示出每一質(zhì)荷比的離子流強(qiáng)度。
真空質(zhì)譜計(jì)能掃描1～50u，以至l～300u的質(zhì)量范圍，并能分辨相隔1u的相鄰離子。
圖23：真空質(zhì)譜計(jì)質(zhì)譜圖
圖23給出了儀器的輸出，即各種離子的電流按其質(zhì)量大小排列的譜線圖，又稱質(zhì)譜圖。
圖24：殘余氣體分析質(zhì)譜圖
圖23是理想情況，也稱之為“質(zhì)譜棒圖”。實(shí)際測(cè)得結(jié)果往往是如圖24所示的情況。可見(jiàn)線條已被一些峰所代替。
