薄膜真空計的結構原理和測量方法
【康沃真空網】薄膜真空計也是一種理想的全壓計，不受氣體種類的影響，且精度高、反應快，溫度影響范圍小，可作為標準真空計使用。那它的原理又是怎樣的呢，一起來了解下。
一、薄膜真空計的測量方法
薄膜真空計屬于彈性變形真空計中的一種，它獲得的壓力參數，是通過真空計中膜片在壓力差作用下產生彈性變形量，經過信號變送而來。具體的變形量的測量方式還有機械的、光學的以及電學的這些形式。其中，電測量方式可以實現連續地遠距離測量，靈敏度高，變形量與電信號之間的變送方式有電感式、壓電式、電阻應變式以及電容式這幾種。目前電容式的薄膜真空計應用較為廣泛。下面，我們就來簡單了解下電容式薄膜真空計的簡單結構原理。
二、薄膜真空計的結構原理
電容式薄膜真空計主要由電容式壓力傳感器（電容式薄膜規管）和測量線路兩部分組成。其規管的主要結構如下圖：
薄膜規管的主要結構包括兩個結構完全相同的圓形固定電極和一個公用的膜片構成的活動電極。活動電極薄膜將規管空間分成密封的兩個空間——測量室與參考室。固定電極和活動電極薄膜構成差動電容器，并作為電橋的兩個臂布置在線路當中。當活動電極薄膜處于中間位置時，兩個電容器的電容量相等。如果當活動電極薄膜由于壓差作用，開始偏離中間位置時，兩個電容器的電容量就會發生變化，使其中一個增大，一個減小。電容的變化會使電橋產生不平衡，因而會產生輸出電壓，將該輸出電壓經放大器放大后，再由檢波器轉換成直流電壓后即可進行測量、輸出。而不同的輸出電壓就對應著不同的氣體壓力。
以上這些就是薄膜真空計測量真空壓力的簡單原理了。
