低溫真空泵是一種利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵，又叫冷泵、冷凝泵，一般是以低溫液體（液氮或液氦）或低溫制冷機為冷源。
二、低溫真空泵應用領域有哪些
低溫泵適合用于需要高真空度的領域，尤其適合應用于要求潔凈無油或快速抽氣的場合，例如半導體與集成電路前工序、光學鍍膜、太陽能電池板、光電子器件和真空電子器件制造、平板顯示器件鍍膜等領域。
三、低溫真空泵的原理與結構
低溫真空泵主要由泵殼、障板和冷屏、冷頭、二級冷板等組成，其作用原理是：依靠冷源提供的冷量使表面氣體被冷到低溫冷凝時壓力下降，不冷凝氣體在低溫下被固體吸附劑吸附，從而達到排氣的效果，獲得潔凈真空，低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。
四、低溫真空泵的優點
1、高極限真空度
標準的低溫真空泵，其極限真空度可達10-7Pa，必要時，在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10-9Pa，而理論上，甚至于達到10-11Pa以上極高真空。
2、大抽速
低溫真空泵的抽速較快，尤其對水具有超高的抽速，其遠高于其它真空泵，低溫泵的高抽速使得建立真空的速度比其他真空泵快，可以大大提高產品產出量。
3、潔凈
低溫泵是真正的潔凈無油、抽速高的高真空泵，它是利用低溫冷板來冷凝、吸附氣體而獲得和保持真空，在真空區域任何沒有運動部件，沒有油，所有清潔無污染。
4、運行成本低
低溫真空泵可大大減少電能消耗，尤其是大口徑泵。就抽速而言，低溫泵僅需1/3的能耗就可以達到與擴散泵同等的效果。
5、安全可靠
低溫真空泵的真空腔內無運動部件，來自外界的干擾或來自真空系統的微粒不影響工作；同時，由于低溫泵回溫具有一定“慣性”，可在突然停電的情況下，有效地保護真空腔體內真空，不至于被鍍工件受到影響。
6、使用方便
低溫泵對安裝方位沒要求，可以泵口超上、泵口朝下、水平位置安裝或以腔體需要的任何角度安裝。
7、使用壽命長
低溫真空泵運動部件少且低速運行，通過日常的保養維護，低溫泵的正常的使用壽命可達5~6萬小時，有的甚至超過8萬小時。
五、低溫真空泵的缺點
1、需要降溫時間（準備時間）。
2、需要再生。
3、購置成本高。
