【康沃真空網(wǎng)】一、中央清掃真空系統(tǒng)HV（House Vacuum）
又稱中央真空除塵系統(tǒng)，廣泛存在于電子行業(yè)、化工行業(yè)、以及制藥等行業(yè)中。
1.1系統(tǒng)組成
中央真空清掃系統(tǒng)是由吸塵主機（如下圖所示）、控制系統(tǒng)、吸塵管路、吸塵閥門、吸塵操作組件：真空清掃口（邊墻型/地板型）、清掃口連接彎頭（邊墻型）、清掃口連接件（地板型）、開關盒等構成。真空吸塵系統(tǒng)是一種高負壓，低流量的除塵系統(tǒng)的統(tǒng)稱。這一系統(tǒng)往往被應用于電子行業(yè)制造車間環(huán)境的清掃。應用這一系統(tǒng)的用戶往往對粉塵捕集的要求非常高，生產(chǎn)過程采用的加工設備屬于高精密加工設備，防塵要求高。
1.2工作原理
中央真空清掃系統(tǒng)運行時，粉塵通過吸塵嘴被有效的吸入到真空管網(wǎng)內(nèi)部，在真空負壓的作用下，被吸進的粉塵隨氣流沿著負壓管路被抽入吸塵器內(nèi)部。首先大顆粒粉塵經(jīng)過進風口導流板，在離心力的作用下，落入機器下方的集塵桶內(nèi)；密度極輕粉塵隨氣流繼續(xù)向上運動。粉塵進入中央吸塵主機過濾室時，被過濾器分離，清潔的空氣由真空吸塵機排風出口經(jīng)消音裝置排入空氣中。過濾器上的粉塵通過系統(tǒng)自動脈沖反吹裝置定時反吹交替工作來完成。。
1.3中央清掃裝置特征：
集中的收集廢棄物并且能夠自動的排除氣體或液體。
創(chuàng)造一個更加安全更加干凈的潔凈室工作環(huán)境。
真空清掃系統(tǒng)一般放置在清潔室的外機房或者放到遠離有危險的區(qū)域。
每一套裝置都設計的可以連續(xù)一天24小時工作，連續(xù)一周7天工作。
二、制程真空PV（ Plant vacum）
工藝真空系統(tǒng)廣泛應用于電子半導體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)，需要有極高的運作性能和可靠性。隨著電子廠自動化程度越來越高，很多機器都需要真空作為設備的動力。大部份的真空度要求在-0.06MPa -0.09MPa 左右。其中芯片廠主要用于wafer的吸取及移動以及如下設備：
IMP機臺（MIC）；
PH機臺（MCT，DSS，MSR，DCT，KLA，SEM，AIT，LOM）；
ET機臺（CDE，UVC）；
TF機臺（PEO，SCR，XRF）；
CMP機臺（ILD，WWW，STI，BGR）；
量測機臺（HTK，PRO）
PV pump一般位于fab，采用N+1配置方式，設置真空儲罐（>5m3）
各機臺之POU點經(jīng)sub-main到main-pipe再到tank,再經(jīng)過pump排入一般排氣系統(tǒng)。
常用系統(tǒng)參數(shù)：真空度（負壓值）PV值一般不會小于0.9bar，使用值：70~260Torr/-40~100Torr；
流量：9~110 LPM；
接管尺寸：1/4“, 3/8 “
制程真空系統(tǒng)的組成：
由真空泵、 PLC 程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、過濾總成等組成的真空系統(tǒng)。
控制邏輯:設定真空系統(tǒng)的上下限值，啟動系統(tǒng)后，其中一臺真空泵開始工作，直到真空罐內(nèi)真空度高于上限值，此時真空泵自動停止，真空罐內(nèi)真空由真空止回閥自動截止。
如因工作需求真空罐內(nèi)真空度降至低于下限值時，另一臺真空泵自動啟動直到真空罐內(nèi)真空度抽到上限值超過一定時間，而單臺真空泵不能將罐內(nèi)真空度抽至下限以上時，另一臺真空泵將自動啟動，直到超過上限。
運行特點：裝置一般自第一次啟動后，全部運行過程可以實現(xiàn)全自動控制。其工作中，真空系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度始終在其允許范圍內(nèi)上下波動，其波動范圍可根據(jù)用戶要求進行調(diào)整。第一臺啟動達不到真空時第二臺啟動至達到設定的真空值當達到后第一臺停再第二臺停循環(huán)工作，裝置在無人操作情況下對系統(tǒng)進行自動控制，在停電時可自動封閉真空系統(tǒng)。同時控制箱可以保護真空泵馬達過載及短路。
工藝真空示意圖
三、工藝高真空（high vacuum）
與house vacuum不同，F(xiàn)AB 中許多工藝設備運轉過程中會產(chǎn)生許多的廢氣和危害性氣體，機臺在重新運轉前必須有計劃有步驟的清除這些有害的副產(chǎn)品。這樣可以減少設備自身產(chǎn)生的污染，減少廢品。
設備中收集這種副產(chǎn)品的部件叫氣室(chamber)。為了清潔氣室，必須使用高真空系統(tǒng)。也就是用真空Pump把機臺內(nèi)的廢氣通過高真空管路抽出來,經(jīng)過Scrubber 處理后排放到Exhaust system，從而保持設備的清潔和正常運轉，也保持環(huán)境的清潔。
一端與設備連接，另一端與泵連接的這段管叫做高真空管 “Pumping- Line”(vent )。
另外還有一種管，一端連到泵的輸出端而另一端連到工藝排風系統(tǒng)。許多設備都有幾種氣室，必須把廢氣用泵抽出來，從而保持設備的清潔，相應的就有不同的高真空管和泵來配套。為了確保這種廢氣排放工藝有效運行，在安裝設計高真空管時必須小心。尤其要考慮到如何確保氣泵最有效的工作。這就需要抽氣系統(tǒng)越短越好，所受限制越少越好，因此high vacuum泵一般都安放在SUBFAB，位于相關設備的正下方或盡可能靠近相關設備的正下方（如下圖）。
與Plant vacuum相比較，High vacuum一般參數(shù)如下:
真空度 0.01~10mTorr左右；
使用值：0.1~10mTorr；
流量：LPM(由工藝確定)；
尺寸：1/4“，3/8 “，2 “， 3 “，4 “，5 “ ，6 “；
主要Pump類型品牌：BOC、Edwards、Ebara等；
主要scrubber類型：電加熱吸附（帶水洗）式；燃燒（帶水洗，酸堿中和）式；及循環(huán)水洗式等。
