對真空腔體材料的主要要求如下:
1、 一定的機械強度;
2 、氣密性好,不應是多孔結構,不能有裂縫、小孔以及能造成漏氣的其他缺陷;
3、 較低的出氣率和滲透率;
4、 在工作溫度和烘烤溫度下的飽和蒸氣壓要足夠低;
5、 化學穩定性好,不易氧化和腐蝕,不與系統中的工作液體發生化學反應;
6、 溫度穩定性好,在一定溫度范圍內能保持真空性能和機械強度;
7、 加工容易,有較好的焊接性能;
真空設備常用殼體材料有兩大類:金屬和玻璃。
金屬的優點是:機械強度好,容易實現高精度的加工。
玻璃的優點是:透明,便于觀察設備內部情況,電絕緣,可對內部的金屬零件用高頻加熱的方法除氣,能用高頻火花槍檢漏,加工方便等。
玻璃的缺點是質脆易碎。