如何保護好分子泵
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2023-05-27 閱讀
1、分子泵不能超出生產商規定的使用環境和使用范圍。
2、分子泵的高真空端應做好保護措施避免運轉時暴露大氣而導致泵直接損壞。
3、分子泵的前級（低真空端）壓力超過生產商指定的最大壓力將導致泵的過熱，會導致軸承受損，情況嚴重的甚至會導致徹底失效。
4、避免分子泵的進氣口和出氣口都是“死連接”，如果前級管道為固定連接，則泵殼受熱后無法膨脹，導致不當的材料應力，在該固定連接中，轉子無法自由移動，且遺留下來的細微不平衡隨著時間的推移會造成軸承故障，并會導致轉子受損。
5、當無法避免顆粒物穿過分子泵的進氣口防護罩而掉入分子泵內時，需選擇倒置安裝或其它角度安裝。對于有形成沉積物趨向的工藝，如在 CVD（化學氣相沉積）中，涂層工藝將在轉子和殼體部件上持續進行，這將會引發不平衡和震動，致使轉子破碎，在此類工藝中，應采取屏蔽措施。
6、當烘烤泵時，務必遵守生產商規定的最大烘烤溫度要求。溫度高時，需要對泵進行冷卻。
7、磁場會對運行中的分子泵的轉子產生渦電流，這會加熱轉子并使其迅速過熱，如果這些值過高，則必須對泵進行屏蔽。如果已知磁場的分布情況，則必須對其進行重新部署。
8、在存在不同強度和持續時間的中子和伽馬輻射的情況時，這種輻射破壞安裝在泵上的電子驅動器和變頻器，在這種情況下，必須使用連接電纜將電子驅動器安裝在遠離輻射的安全距離上。
9、按照生產商的規定對分子泵做好維護保養。
