由于油式旋片真空泵的應用非常廣泛，而且使用的工況相對惡劣，所以一般出現故障的幾率比較高。
油式旋片真空泵常見故障有：①泵無法啟動；②泵達不到極限壓強；③泵的抽速太慢；④泵在運行中溫度過高；⑤在真空管道中或被抽容器中發現油；⑥泵的噪音過大；⑦真空泵漏油；⑧電機部分故障。
泵無法啟動的故障產生的原因及常見處理方法如下：
真空泵無法啟動時候，首先要確認是否是電氣控制方面問題，檢測控制線路及控制元器件是否正常。
如果不是電氣控制方面的故障，再排查真空泵機械部分的問題，常見的有如下幾方面原因：①電源或控制線路連接不正確；②供給電機的電源電壓與電機不匹配；③電機發生故障；④泵油溫度低于 10℃；⑤泵油太粘稠；⑥排氣過濾器或排氣管道被堵塞；⑦因抽入大量雜物導致泵被卡死。
①電源或者控制線路連接不正確
檢查電機連接的主電路及所選配件是否有問題，控制線路是否有問題，例如連接的斷路器、接觸器，連接泵時采用額定值恰當的電纜和接頭，適當的電機保護開關，確保接線牢靠。
處理方法：由專業電工檢查維修電源線。
注意：在連接電機或更改連接后必須檢查旋轉方向。為此可很短暫地合上電機電源開關，觀察在進氣口上的蓋板是否被吸住。否則更換任意兩個相線的連接。長時間反轉會造成泵損壞。
②供給電機的電源電壓與電機不匹配
大部分真空泵廠家生產的真空泵，應用在全世界很多國家，所以有不同版本的電機，在供電前請確認所供電源與電機銘牌相符。
處理方法：如電壓及頻率不匹配，更換電機。
③電機發生故障
先單獨拆下電機，用手轉動真空泵側聯軸器，確認泵沒有卡死，說明電機有問題，檢查電機是否卡死。檢查電機三相阻值是否平衡，有無燒毀，對地絕緣阻值是否符合要求。
④泵油溫度低于10 ℃
泵停放在溫度低于 10℃環境中致使泵油溫度低于 10℃。
當開泵時，由于泵油溫度低造成啟動困難。長時間低溫運轉如不及時關機，有可能造成電機燒毀。
處理方法：加熱泵和泵油或是用別的類型的泵油（粘度較小的泵油），亦可打開泵的進氣口，手工點動運轉泵。
注意：點動每次時間不要超過10 秒鐘。
⑤泵油太粘稠
泵油被污染或長期使用造成粘度變稠，油品變質，泵油太粘稠導致啟動困難，觀察油視窗，或者放出少量油品，確認油是否已經變質。
處理方法：更換泵油，注意要對泵腔或者油箱進行簡單清理，可加少許新油，點動真空泵，把油放掉后再加新油。
⑥排氣過濾器或排氣管道被堵塞
排氣過濾器或者管道被堵塞，導致泵的排氣壓力過高，腔體內壓過大，負載過高，從而導致泵無法正常啟動。
處理方法：清洗過濾器或排氣管道，并保證泵的排氣管直徑≥泵的排氣口直徑。
⑦因抽入大量雜物導致泵被卡死
泵內有異物或者抽入大量雜物導致卡死，泵也無法正常啟動。
處理方法：先用手轉動電機風扇，如果轉不動，再把電機拆卸下來，檢查泵端是否卡死，如果泵卡死，需對泵進行拆卸檢測，確認故障原因進一步處理。
