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　　【康沃真空網】隨著經濟快速增長，半導體工業也隨之不斷發展，真空設備在半導體行業中的應用也更加廣泛。

　　半導體設備中常見的真空泵為油封式機械泵，干式真空泵，羅茨真空泵，分子真空泵，擴散泵和冷凝泵等。真空泵運行情況的優劣直接影響設備的經濟性和安全性。

　　本文從常見半導體設備真空泵的故障及維修辦法等方面入手，對常見泵的故障現象和維修手段進行簡要總結，可有效節約維修時間，及時發現故障和處理，保證設備安全經濟運行。

　　半導體設備真空泵常見故障分析及維修辦法如下表格：