濺射離子泵原理、結構及特點
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2023-09-02 閱讀
這是用于產生超?極高真空的典型泵之一。由于向由陽極和陰極組成的電池（泵電池）施加電場是簡單操作原理，沒有驅動并且不產生聲音或振動。另外，這是一種儲存型的泵，穩定運行期間，無需輔助泵即可單獨排氣。廣泛用于分析儀器和加速器。
使用了濺射離子泵的技術！
加速器、超?極高真空排氣設備、分析設備、電子束照射設備等
濺射離子泵的特征
離子泵的優點
泵的結構上，沒有機械動作部分，所以不會引起噪音和振動。因此，它廣泛用于分析儀器和加速器等領域。
應用于極超真空，已通過ISO標準，極限壓力10-9 Pa測試 。
稀有氣體排氣增強型的排氣性能是氬氣的兩倍。
在超高真空范圍內實現高抽速。
在短時間內可以達到超高真空。
在超高真空范圍內具有出色的啟動特性。
優點 可獲得超?極高真空，無機械振動和噪音，完全無油，可選擇任何安裝方式等
缺點 難以排出大流量的氣體，由于運作范圍在高真空，因此需要粗抽泵。
濺射離子泵的結構
用鈦吸氣劑膜捕捉氣體。
泵殼，磁軛，由陽極和陰極組成的電池（泵電池），在此施加電場的簡單結構
１）一次電子生成●
２）一次電子螺旋軌道
?。常┮淮坞娮雍蜌怏w分子●的撞擊產生一次離子
?。矗╇x子撞擊陰極，敲擊出鈦原子●
５）鈦原子吸附活性氣體分子，離子被捕獲在陰極中
