鈦升華泵的結構，特點及原理
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2023-09-08 閱讀
該泵是一種利用鈦來排氣從而產生超高真空的真空泵。
與通過冷卻獲得真空的吸附泵不同，通過加熱和升華鈦在壁面上產生大量活性表面，與濺射離子泵或渦輪分子泵組合使用。
鈦升華泵的應用領域:
用于加速器，分析儀器等，與濺射離子泵，低溫泵，渦輪分子泵等真空泵配合使用，縮短排氣時間，提高極限壓力，增加排氣量。
02鈦升華泵的特點
吸氣作用產生真空
該泵是利用鈦的吸氣作用進行排氣，可以產生超高真空的真空泵。
吸氣作用是指通過吸附氣體分子來進行排氣。
吸氣的材料使用的是活性鈦，通過化學吸附來吸附氫氣、氧氣、氮氣、一氧化碳和活性氣體等，提高氣體的真空度。
優點 無油，優異的可維護性，與離子泵并用可獲得極高真空
缺點 惰性氣體不能排氣
03
鈦升華泵的原理
蒸發的鈦吸附分子
該泵通過加熱鈦蒸發用的燈絲使其在真空中升華，在泵內的壁面形氣體鈦的蒸鍍膜。
然后通過利用鈦的吸氣作用，進行氣體的吸附，發揮排氣作用。
即使吸附面被氣體分子填滿，通過在其表面重疊鈦的蒸鍍膜來確保吸附面。
