一、一般術語
1．標準環境條件：溫度為20℃，相對濕度為65%，大氣壓力為101325Pa。
2．氣體的標準狀態：溫度為0℃，壓力為101325Pa。
3．壓力（壓強）：氣體分子從某一假想平面通過時，沿該平面的正法線方向的動量改變率，除以該平面面積或氣體分子作用于其容器表面上的力的法向分量，除以該表面面積。
4．帕斯卡（符號：Pa）：國際單位制壓力單位，1Pa=1N/m2。
5．分壓力：混合氣體中某一組分的壓力。
6．全壓力：混合氣體中所有組分壓力的總和。
7．真空：在指定空間內，低于一個大氣壓力的氣體狀態。
8．真空度：表示真空狀態下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來表示
9．氣體：不受分子間相互作用力的約束且能自由地占據任意空間的物質。（注：在真空技術中，“氣體”一詞不嚴格地應用于非可凝性氣體和蒸汽。）
10．非可凝性氣體：在臨界溫度以上的氣體，即單純增加壓力不能使其液化的氣體。
11．蒸汽：在臨界溫度以下的氣體，即單純增加壓力能使其液化的氣體。
12．飽和蒸汽壓：在給定溫度下，某種物質的蒸汽與其凝聚相處于相平衡狀態下的該種物質的蒸汽壓力。
13．飽和度：蒸汽壓對其飽和蒸汽壓之比。
14．飽和蒸汽：在給定溫度下，壓力等于其飽和蒸汽壓的蒸汽。
15．未飽和蒸汽：在給定溫度下，壓力小于其飽和蒸汽壓的蒸汽。
16．分子數密度（單位：m-3）：在某瞬時，氣體中某點周圍體積內的分子數，除以該本積。
17．平均自由程：一個分子與其它氣體分子每連續二次碰撞走過的路程，叫自由程。相當多的不同自由程的平均值，叫平均自由程。
18．碰撞率：在給定時間間隔內，一個分子（或其他規定粒子）相對于其它氣體分子（或其它規定粒子）運動，受到的平均碰撞次數，除以該時間。這個平均碰撞次數是應在足夠多的分子數和足夠長的時間間隔下取得。
19．體積碰撞率：在給定時間間隔內，在圍繞規定一點的空間范圍內，氣體分子間的平均碰撞次數除以該時間和該空間范圍體積。所取時間間隔和體積不應太小。
20．氣體量：處于平衡狀態的理想氣體所占有的體積同其壓力的乘積。此值必須注明氣體溫度或換算成20℃時的數值。
（注：氣體量是指該量氣體所占體積內氣體內稟能量（或位能）的2/3。
21．氣體的擴散：氣體由于濃度梯度而在另一種介質中的運動。介質可以是另一種氣體（這種情況下的擴散稱之為互擴散）或者是可凝聚物質。
22．擴散系統：通過單位面積的質量流率的絕對值同該單位面積的法向濃度梯度之比。
23．粘滯流：氣體分子的平均自由程遠小于導管最小截面尺寸的流態。因此，流動取決于氣體的粘滯性，粘滯流可以是層流或滯流。
24．粘滯系數：在氣流速度梯度方向單位面積上的切向力與速度梯度之比。
25．泊肖葉流：流過圓截面長導管的層流粘滯流。
26．中間流：在層流和分子流之間狀態下氣體通過導管的流動。
27．分子流：氣體分子的平均自由程遠大于導管截面最大尺寸的流態。
28．克努曾數：氣體分子的平均自由程與導管直徑之比。
29．分子瀉流：氣體流過薄壁小孔，其分子的平均自由程較小孔尺寸大得多的情況時的流動狀態。
30．流逸：由壓力差引起的氣體通過多孔物體的流動。
31．熱流逸：在分子流狀態下，兩個連通容器由于溫度不同引起了氣體流動，當氣體傳輸達到平衡時，兩個容器之間產生壓力梯度的現象。
32．分子流率：在給定時間間隔內，從給定方向穿過表面的分子數與從相反方向穿過該表面的那些分子數之差，除以該時間。
33．分子流率密度：分子流率除以表面面積。
34．質量流率：在給定時間間隔內通過某一截面的氣體質量，除以該時間。
35．流量：在給定時間間隔內通過某一截面的氣體量除以該時間。
36．體積流率：在給定溫度、壓力和給定時間間隔的條件下通過某截面的氣體體積，除以該時間。
37．在給定時間間隔內通過給定截面的氣體的摩爾數，除以該時間。
38．麥克斯韋速度分布：由麥克斯韋—波爾茲曼速度分布函數確定的一種速度分布。即氣體分子在一定溫度下處于平衡態和到器壁的距離大于分子平均自由程時的速度分布。
39．傳輸幾率：無規律地進入導管入口的分子通過出口的幾率。
40．分子流導：氣體通過管的兩規定截面或孔流動的分子流導為：其分子流率與管的兩截面或孔的兩側的平均分子數密度差之比。
41．流導：在等溫條件下，氣體通過導管或孔流動時，其流量與導管的兩規定截面或孔的兩側的平均壓力差之比。
42．固有流導：在容器中麥克斯韋速度分布占優勢的條件下，連接這樣兩個容器的導管（或小孔）的流導。在分子流條件下，它等于入口流導與傳輸幾率之積。
43．流阻：流導的倒數。
44．吸附：固體或液體（吸附劑）對氣體或蒸汽（吸附質）的捕集現象。
45．表面吸附：氣體或蒸汽（吸附質）存留在固體或液體（吸附劑）表面上的吸附現象。
46．物理吸附：由于物理作用的吸附現象。
47．化學吸附：由于化學作用的吸附現象。
48．吸收：氣體或蒸汽（吸附質）擴散進入到固體或液體（吸附劑）內部的現象。
49．適應系數：入射到某一表面的粒子和該表面實際交換的平均能量與粒子在該表面上達到完全的熱平衡條件所應當交換的平均能量之比。
50．入射率：在給定時間間隔內，入射到表面的分子數，除以該時間和該表面面積。
51．凝結率：在給定時間間隔內凝結在某一表面積上的分子數（或物質量或物質質量），除以該時間和該表面面積。
52．粘著率：在給定時間間隔內表面上吸附的分子數，除以該時間和該表面面積。
53．粘著幾率：粘著率與入射率之比。
54．滯留時間：分子在表面上以吸附狀態被約束的平均時間。
55．遷移：分子在表面上的移動。
56．解吸：被材料吸附的氣體或蒸汽的釋放現象。釋放可以是自然的，也可用物理方法加速。
57．去氣：氣體從材料中人為的解吸。
58．放氣：氣體從材料中自然的解吸。
59．解吸氣或放氣或去氣速率：在給定時間間隔內，從材料中解吸（或放氣或去氣）的氣體流量（或分子流率），除以該時間和該表面面積。
60．蒸發率：在給定時間間隔內從表面上蒸發的分子數（或物質量或物質質量）除以該時間和該表面面積。
61．滲透：氣體通過固體阻擋層的現象。該現象包括氣體通過固體的擴散，也可以包括其它的表面現象。
62．滲透率：在穩定流動的條件下，氣體通過阻擋層（如器壁）的流量除以阻擋層兩側壓力函數的量，該函數形式取決于實際滲透所涉及的物理過程。
63．滲透系數：滲透率與阻擋層厚度之積，除以滲透表面積。
