1、流量
在真空泵的吸氣口處，單位時間內流過的氣體量稱為泵的流量，符號用“Q”表示，其單位為Pa·m3/s或Pa·L/s。
2、流導
表示真空管道通過氣體的能力。單位為升/秒（L/s），在穩定狀態下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。符號記作“U”。
U＝Q/(P2-P1)
根據定義，流導是指氣體流量除以管道兩端的壓力差，因此，流導的單位與抽速（單位時間的體積）相同。
管路的流導
管路的流導即管路的通導能力，表示氣流在管路中的通過能力。
當管路兩端存在壓力差(P2-P1)，流經管路的氣體流量為Q時，則管路流導U的定義式為:
U=Q/(P2-P1)
其中，U是通導，Q是氣體流量，P2和P1是管道兩端的壓強差。
由上式可知，管路的流導是在單位壓差下，流經管路的氣體體積流量，其單位為m/s,或用L/s表示。
真空系統中的各元件，如管道、閥門、捕集器、除塵器等都希望流導盡可能大，以使氣體能順利通過。
因此，流導是真空系統元件設計計算的重要參數。
通導是指真空系統中各部分對氣體流動的阻礙程度。
它與管道的長度、截面積、形狀、粗糙度、彎曲程度等有關。
例如，如果一個管道的長度為1米，截面積為0.01平方米，兩端的壓強分別為10千帕和1千帕，每秒通過的氣體流量為0.1升，那么它的通導為0.01升/秒。
3、抽氣速率
單位時間內流過泵入口的氣體體積稱為泵的抽氣速率，抽氣速率的單位為m3/s或L/s，用S表示。
一般真空泵的抽氣速率與氣體種類有關，因此給定的泵的抽氣速率均表示對某種氣體的抽氣速率，如無特殊標明，多指對空氣的抽氣速率。
泵對給定氣體A的抽氣速率SA為氣體A流過泵入口的流量QA與氣體A的分壓力pA的比值如下式所示：
SA=QA/pA
抽速是指真空泵在單位時間內從真空系統中抽出的氣體體積。它與真空泵的類型、結構、工作參數和真空度有關。
例如，如果一個真空泵在1千帕的壓強下，每秒可以抽出1升的氣體，那么它的抽速為1升/秒。
4、抽速系數
泵的實際抽氣速率與泵入口面積按分子瀉流計算的理論抽氣速率之比。
5、啟動壓力
泵無損壞啟動并有抽氣作用時的壓力，其單位為Pa。
6、前級壓力
排氣壓力低于101.325kPa的真空泵的出口壓力，其單位是Pa。
7、最大前級壓力
超過了它能使泵損壞的前級壓力，其單位是Pa。
8、最大工作壓力
對應最大抽氣量的入口壓力，在此壓力下，泵能連續工作而不惡化或損壞，其單位是Pa。
9、返流率
泵按規定條件工作時，與抽氣方向相反而通過泵入口單位面積、單位時間的泵液的質量流，其單位是g/（cm2·s）。
10、冷阱（水冷擋板）
置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置。
11、真空泵的應用
根據真空泵的性能，在各種應用的真空系統中可扮演以下各種角色。
①主泵：在真空系統中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。
②粗抽泵：從大氣壓開始，降低系統的壓力達到另一抽氣系統開始工作的真空泵。
③前級泵：用以使另一個泵的前級壓力維持在其最高許可的前級壓力以下的真空泵。前級泵也可以做粗抽泵使用。
④維持泵：在真空系統中，當抽氣量很小時，不能有效地利用主要前級泵。
為此，在真空系統中配置一種容量較小的輔助前級泵，維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。
⑤粗(低)真空泵：從大氣壓開始，降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。
⑥高真空泵：在高真空范圍內工作的真空泵。
⑦超高真空泵：在超高真空范圍內工作的真空泵。
⑧增壓泵：裝于高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在中間壓力范圍內的抽氣量或降低前級泵容量要求的真空泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。
一般工作范圍
