處于真空狀態下的氣體稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。單位是Torr或Pa。
02抽氣速率
單位m3/h或L/S，是指在一定的壓強和溫度下，單位時間內真空泵進氣口處抽走的氣體。
03抽氣量
單位是m3/s或l/s，指泵入口的氣體流量。
04轉速
單位r/min，轉子的旋轉速度。
05極限真空
真空泵經充分抽氣后，穩定在某一真空度，此真空度為該泵的極限真空。
通常真空泵需要經過12小時煉氣，再經12小時抽真空，最后一個小時每隔10分鐘測量一次，取其6次的平均值為極限真空值。
06何氏系數
真空泵抽氣通道面積上的實際抽速與該處按分子泄流計算的理論抽速之比。
07流導
表示真空管道通過氣體的能力，在穩定狀態下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差，單位為L/s。
08水蒸氣允許量
單位kg/h，指泵在正常工作環境下，氣鎮泵在連續工作時能抽除的水蒸氣質量流量。
09平均自由程
作無規則熱運動的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號“λ”表示。
10標準大氣壓
壓強為每平方厘米101325達因的氣壓，單位Atm。
11壓力或壓強
氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用Pa表示。
12起動壓強
指泵無損壞起動并有抽氣作用時的壓強。
13前級壓強
指排氣壓強低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。
14最大前級壓強
指超過了能使泵損壞的前級壓強。
15最大工作壓強
只對應最大抽氣量的入口壓強。在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞。
16主泵
在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵。
17前級泵
用于維持某一真空泵前級壓強地域其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片泵或滑閥泵就是前級泵。
18粗抽泵
從大氣壓下開始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。
19維持泵
在真空系統中，氣量很小時，不能有效利用前級泵。為此配備一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。
