干式螺桿真空泵內裝有一對平行的螺旋狀的轉子，其中一件轉子的旋轉方向為右旋，另一件為左旋。兩個轉子在泵體內通過一對齒輪保持同步反向旋轉。
轉子和轉子之間，轉子與泵體之間沒有摩擦且保持一定的間隙，兩個轉子和泵體形成密封腔，密封腔的個數等于轉子的旋轉圈數。
兩個轉子在旋轉時，與吸氣口相連的密封腔空間在旋轉過程中逐漸變小，氣體被壓縮到排氣口，長時間運轉時需向泵體及端蓋的夾套內通入適量的冷卻水以對泵進行冷卻。
因壓縮熱主要在排氣側產生，為了充分冷卻轉子，干式螺桿真空泵在多數工況下可以將適量的空氣或其他合適的氣體通過摻氣口導入泵腔。
二、干式螺桿真空泵性能特點
1.抗腐蝕性設計：在同氣體相接觸的部件表面均采用了鍍鎳/特氟龍等涂層，避免氣體對壓縮腔體部件的腐蝕。
2.無油無水的純凈系統運行：無油無水的純凈的工作過程，極易化工氣體介質的回收。
3.低噪音系統的機械設計運行：無金屬及部件介面的接觸，確保系統長壽命、低振動、低噪音以及低磨損耗。
4.低排氣溫度：轉子用水套冷卻系統，在壓縮區從內部強化冷卻，用這種方法，氣體溫度可以得到調節。
5.短氣路，避免氣體冷凝和結露銹蝕機腔。
6.緊湊式一體機組，占地空間小。
7.低真空和高流量干式螺桿真空泵可確保真空極限壓力達到0.01Torr,任何壓力下，均可連續運行，螺桿轉子具有極高的工作效率。
三、選擇的注意事項
1.干式螺桿真空泵的極限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個數量級。
2.每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點應該選擇在這個范圍之內，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。
3.干式螺桿真空泵在其工作壓力下，應能排走真空泵設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4.選擇真空機組：1）當使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足工藝要求。
2）有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的干式螺桿真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。經組合使用的真空泵，我們稱之為真空泵機組，它能是真空系統得到較好的真空度及排氣量。
我們應正確地選擇組合的真空泵，由于不同的真空泵對抽除的氣體要求有不同的要求，例如：在一般情況下羅茨-旋片機組不適用于含有較多凝性氣體的系統。
5.當您選擇油封泵時，您應該首先了解您的真空系統是否對油污染有要求。
若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、擋油阱、擋板等，也能達到清潔真空要求。
6.了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無顆?；覊m、有無腐蝕性等。
選擇干式螺桿真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
7.當選擇油封真空泵時，要考慮真空泵排出來的油蒸汽（油煙）對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，應該選無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。
8.干式螺桿真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響，若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
