日前，從Edwards集團有限公司了解到，該公司成功推出了針對應用材料公司制造平臺的加載互鎖和輸送腔體應用的全新集成式真空泵IPUP2。
　　
　　真空泵IPUP2是為滿足應用材料公司的加載互鎖和輸送腔體抽真空規(guī)格而設計。IPUP2的抽氣速率和功率曲線得到了優(yōu)化，以增加機臺產出能力，z*大抽速可達180 m3/h，與第一代相比快89%，抽真空時間縮短54%，同時能耗節(jié)約70% (使用“綠色模式”還可進一步節(jié)能)。該泵中采用的精密軸承確保運行平穩(wěn)、低震動，機油潤滑的軸承和定時齒輪使得大修之間無需常規(guī)維護。IPUP2包括水平和垂直進氣口，其尺寸和配置能夠與前一代泵直接互換。在測試中該泵的得分很高，平均故障間隔(Semi E10標準的MTBF)為5年，可實現超過300萬次加載互鎖工作循環(huán)。
　　
　　據了解，真空泵IPUP2在加載互鎖抽真空時間、能耗和維護要求方面具有明顯優(yōu)勢，這些先進性能結合起來為其帶來同類z*佳的性能和擁有成本。該泵已經獲得初步成功，在應用材料公司的多類新設備平臺上取得了使用認證，并且已經向主要半導體制造商提供超過180套系統。