近日，受省科技廳委托，合肥科技局組織有關專家對省科技計劃項目“極大規模集成電路制造用低溫真空泵系列產品開發與產業化”進行了驗收，驗收專家組在聽取了項目實施情況匯報后，一致同意項目驗收通過。
該項目產品經檢測，符合相關標準，使用狀況良好。此外，該項目還獲得了實用新型專利7項，高新技術產品2項，參與制定行業標準1項，具有較好的經濟與社會效益。
萬瑞：低溫真空泵項目通過驗收
2014-01-02 10:29:24 閱讀()
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