英國克勞利--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--Edwards Limited是一家q*領先的真空設備和尾氣處理系統制造商及相關增值服務提供商，該公司近日推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池板制造商節省更多成本。

　　
　　Edwards TMP產品營銷經理Shinichi Yoshino 表示：“新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwardsz*新的轉子設計和成熟且高度可靠的iXA系列機載控制器，使容許的通過的氣量z*大化，從而使高流量過程所需的渦輪泵數量減至z*小，尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨立控制器機架的需求，因而也節省了成本，體積緊湊易于在各種應用中快速安裝。此外，就像我們所有的磁浮式渦輪泵一樣，無需機械軸承的特性幾乎免除了定期維護的成本。”
　　
　　這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量（高達4300 sccm N2）結合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506非常適用于許多不同的大流量、高流動性應用，包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個完全密封的電子模組，以在z*嚴苛的工廠環境中實現穩健、可靠的操作。需要時還可增加一套加熱系統，以減少來自工藝過程中副產物的沉積物和微粒的堆積。