近日,安捷倫發布了全新一代高真空渦輪分子泵 TwisTorr 704FS。作為一款加持了諸多“黑科技”的全新產品,TwisTorr 704 FS 高真空渦輪分子泵在具有高性能、高可靠性的同時,還能做到更經濟。
s*先,高真空渦輪分子泵是什么?
渦輪分子泵是一種用來獲取高真空的真空泵,典型的工作壓力是 0.0001Pa、0.00001Pa,但在極限狀態下,可以通過它實現 0.00000001Pa(大氣壓的十萬億分之一)的超高真空。渦輪分子泵可以用于各類質譜儀(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/MS、TOF)、鍍膜機、電子顯微鏡(SEM、TEM)、聚焦離子束系統(FIB)、表面分析儀器,高能物理實驗裝置、粒子加速器、高真空實驗裝置等諸多應用。
高真空渦輪分子泵內有一個高速旋轉(每分鐘幾萬轉)的轉子,轉子上有渦輪和拖動級進行抽氣。隨著技術的不斷進步,市場不僅對泵性能的要求越來越高,更對其小型化、高可靠性、維護方便性及靈活易用性等都提出了更高的要求。下面就來看看,為了滿足這些要求,安捷倫z*新的高真空渦輪分子泵都“加持”了哪些“黑科技”吧。
“黑科技” No.1 TwisTorr 拖動技術
通常的分子泵拖動級采用圓柱螺旋形的溝槽,而安捷倫 TwisTorr 技術把拖動級放在了薄薄的圓盤上,這樣就可以在有限的空間內集成多對拖動級轉子盤和定子盤,節省空間的同時又能提高效率和性能。
采用該技術的分子泵尺寸會更緊湊,并且有更高的壓縮比和前級耐壓。更高的壓縮比(特別是對小分子氣體的高壓縮比)可以帶來更好的極限真空,而更高的前級耐壓允許使用更小的前級泵,從而降低了整個真空系統的成本和尺寸。
“黑科技” No.2 AFS 安捷倫懸浮軸承技術
一般的渦輪分子泵的設計,泵的軸承是通過過盈配合與轉子及泵體軸承座緊密連接的,一旦泵體有振動或沖擊,這些振動就會傳遞到軸承,并且通過軸承傳遞到轉子。由于渦輪分子泵的軸承和轉子都在高速轉動,對振動特別敏感,傳遞到軸承的振動會影響軸承的壽命,傳遞到轉子的振動會造成轉子發生位移,甚至會與泵體或定子接觸。而一旦高速轉動的轉子與其它靜止的部分接觸,巨大的沖擊力會立即造成轉子葉片的破碎,整泵也隨之報廢。
【康沃真空網】
安捷倫 AFS 懸浮軸承系統,采用特殊的彈性材料隔離轉子與泵體,避免轉子和軸承受到從泵體傳來的沖擊;并且由于彈性材料的阻尼效應,可以吸收各種振動的能量,降低整泵的噪音和振動,保證z*佳的軸承工作條件,從而能延長工作壽命,z*大程度減少系統停機時間,確保長時間工作的穩定性。
“黑科技” No.3 特殊潤滑劑永久潤滑軸承
使用渦輪分子泵的高真空環境對潤滑油或潤滑脂非常敏感,因為在高真空環境下,潤滑油或潤滑脂非常容易汽化。一方面,這些油脂類的蒸氣會形成一種氣源,影響系統的真空度和純凈度;另一方面,這些蒸氣進入到真空腔體后,會冷凝附著在其它零件上,影響高真空系統內相關設備的工作。
TwisTorr 704 FS 采用安捷倫與軸承廠家合作研發的特制軸承,能夠任意方向安裝;并且,由于其使用的特殊潤滑劑飽和蒸汽壓極低,正常使用時幾乎沒有損耗,使得該泵在整個壽命周期內都無需進行加注潤滑脂、更換油棉等維護。
“黑科技” No.4 分子泵控制器 “3D” 控制軟件
早期的分子泵控制器又叫分子泵電源,其z*重要的功能是向分子泵供電;后來,改進型的控制器具備了一定的保護功能,可以監控分子泵的功率和溫度,相當于為分子泵的工作狀態設置了一條紅線,分子泵只能在這條線以下工作(2D),若超過這條線控制器就會報警停機。
與 704FS 配合工作的安捷倫新一代分子泵控制器,變被動保護為主動調整,可以根據不同的工藝條件,自動調整輸出功率和轉速,使泵在保證自身安全的同時,始終工作在一個達到z*優性能的曲面上(3D),達到z*佳的氣載量和壓縮比。同時因為避免了分子泵超負荷運行,可以延長其使用壽命。
與 704FS 同時發布的還有 804FS 和 404FS,加上之前的 84FS 和 304FS,形成了一個完整的系列。