疫情后的第一場半導體展會，真空解決方案閃亮登場
【康沃真空網】6月27-29日，阿特拉斯·科普柯真空技術業務領域亮相全球領先的半導體制造技術盛會FPD China 2020，這也是今年繼疫情之后參加的第一場展會。現場展示了GHS VSD+系列油潤滑螺桿真空泵、DZS VSD+干式爪泵以及LRP VSD+液環泵。
展品速遞
GHS VSD+
GHS VSD+ 系列是新一代智能油潤滑螺桿真空泵與阿特拉斯·科普柯變頻技術的高效結合。
● 即插即用，堅固耐用
● 精確匹配您的運行壓力，提供峰值性能
● 覆蓋了抽速400至5004m3/h，極限真空度達0.35mbar(a)
GHS VSD+ 系列是多個應用的理想選擇，廣泛應用于半導體芯片廠和面板廠的中央PV真空系統。
DZS VSD+
● 更長的使用壽命，更低的維護成本，更低的能耗，并且擁有很強的耐腐蝕性和抗塵能力
● 提供抽速24至394m3/h的多款型號，極限真空度可達50mbar(a)
● 通過Class 0零級無油認證，提供潔凈的真空環境
該系列配備了阿特拉斯·科普柯自主研發的變頻系統，相對于其他同類定頻產品DZS系列將有效節能50%以上，并可廣泛運用于氣動輸送，夾持，包裝，真空塑形，污水處理，中央氣體液體輸送系統，印刷，醫療系統，奶制品行業等等不同市場領域。
LPR VSD+
● 全新的一體化設計，即插即用，配備隔音和IP54防護等級外殼
● 干/濕分離設計，保護電子元器件的使用壽命
● 融合雙VSD變頻驅動的液環泵，確保設備始終處于優異的性能狀態
獨特的LRPVSD+液環泵能夠提供高性能和連接性。作為一款先進的真空解決方案，其不但能夠提供無與倫比的能源效率，還能夠以較低的成本保持運行，并且維護成本低。
