【康沃真空網(wǎng)】大部分真空系統(tǒng)的表現(xiàn)會隨時間的推移而變化，特別是用于生產(chǎn)的真空設(shè)備，幾乎不可避免地會發(fā)生真空度下降等問題，造成這些問題的一個很常見的原因就是泄漏。
定期的泄漏檢測很重要
大的泄漏通常會非常明顯：真空腔體壓力未按正常速度下降，或者極限壓力明顯高于正常值。然而，有些時候，由于真空泵可以輕松處理泄漏氣體造成的氣載，小的泄漏很難被發(fā)現(xiàn)，這時，即使真空計的讀數(shù)仍然在正常的水平，泄漏的出現(xiàn)仍有可能為真空腔體帶來期望之外的氣體（如氧氣），這些氣體有時候會對工藝過程（比如某些鍍膜工藝）帶來非常嚴重的影響。所以，無論真空系統(tǒng)的壓力是否有明顯下降，都應(yīng)該定期進行泄漏檢測。
實漏和虛漏
并非所有的抽氣時間延長、極限壓力下降都是因為泄漏，在使用檢漏儀檢漏前，有必要了解一下如何判斷真空設(shè)備是否真的發(fā)生了泄漏。
真空腔室的內(nèi)壁或腔室內(nèi)壁附著的污染物，在真空下持續(xù)的釋放出氣體，這種現(xiàn)象被稱為放氣。當真空腔室內(nèi)部存在死空間，并且該死空間通過一個狹長的通道與腔室內(nèi)部連通時，死空間內(nèi)的氣體在真空下也會緩慢的釋放出來，形成類似于放氣或泄漏的現(xiàn)象，通常把這種現(xiàn)象叫做虛漏。
真實的泄漏可以通過檢漏找到，放氣也可以通過清洗真空腔體內(nèi)表面而解決，而虛漏一旦產(chǎn)生，很難被發(fā)現(xiàn)，需要在設(shè)計和制造時盡量避免容易產(chǎn)生虛漏的結(jié)構(gòu)或工藝，如上圖中的螺紋連接（一定要用的話可以使用空心螺栓），很長的狹縫或毛細管，兩側(cè)滿焊的腔體焊接（較厚的殼體建議真空側(cè)滿焊大氣側(cè)斷續(xù)焊）等等。
下面兩種方式，可以用來判斷真空系統(tǒng)是否存在真實的泄漏。
1、壓降曲線分析
真空系統(tǒng)的歷史數(shù)據(jù)是了解大型真空系統(tǒng)性能的最有價值的工具之一，經(jīng)驗豐富的技術(shù)人員會精心地保留歷史數(shù)據(jù)，通過將當前的壓降曲線與系統(tǒng)處于良好狀態(tài)時的上一個循環(huán)進行比較就可以快速的判斷問題原因。比如，通過下圖所示的壓降曲線，就可以判斷是否存在泄漏。
工藝條件不變并且真空泵運行正常的情況下，如果存在真實的泄漏，從外部漏入腔室的氣體將導致腔體的壓力下降到比正常極限壓力偏高的位置時便不再下降或下降極慢，壓降曲線類似于上圖最上方曲線。存在放氣或虛漏時，氣體緩慢釋放并且放氣率越來越小，系統(tǒng)能達到原來的極限壓力但是達到極限壓力的時間明顯變慢，壓降曲線與上圖中間那條曲線類似。
2、壓升測試
壓升測試也叫保壓測試或保真空測試。在真空下關(guān)閉真空泵和腔室之間的閥門，放氣、虛漏或者泄漏會造成腔室的壓力升高（反彈），將壓力增加除以經(jīng)過時間，可以計算出真空系統(tǒng)的壓力上升速率，并繪制成如下圖所示的曲線。壓力上升和下降的速度通常以Pa/hr表示，對于一般的工業(yè)真空設(shè)備，保壓測試時，超過1Pa/hr的壓升率就需要調(diào)查和解決問題，有些高真空的設(shè)備，需要0.5Pa/hr甚至更低的壓升率。
如上圖中的系統(tǒng)A，如果多次測量的壓升率基本恒定不變，那么很可能系統(tǒng)有真實的泄漏。對應(yīng)的，如上圖中的系統(tǒng)B，隨著時間的推移，其壓升率下降，即系統(tǒng)壓力的增加速度會隨著時間的推移而減慢，則暗示有虛漏或放氣（可能也有小的泄漏）。
壓降和壓升測試不會定位泄漏，而只會指示所有氣源（實際泄漏和放氣或虛漏）的疊加效應(yīng)。如果懷疑有真實的泄漏，下一步則通常要使用氦氣檢漏儀進行檢漏。
外漏和內(nèi)漏
我們平時所講的泄漏一般是指外漏，即從真空腔體或管道的外部向內(nèi)部泄漏；而內(nèi)漏是指兩個本應(yīng)隔離的真空腔室之間，通過閥門隔離的兩段真空管道之間，或真空腔室與管道之間，發(fā)生了泄漏。
下圖是一個典型的擴散泵抽氣機組，羅茨泵上方的閥門在高真空時應(yīng)該是關(guān)閉的，如果該閥門關(guān)閉不嚴，高真空時氣體就會從閥門的下面向右側(cè)泄漏，這種泄漏就是內(nèi)漏。和外漏類似，內(nèi)漏也會造成高真空抽氣時間延長、極限真空變差等問題。
外漏可以方便地通過檢漏儀直接找到，而內(nèi)漏卻只能通過分段保壓等方式做預判斷，然后拆掉可疑的閥門一側(cè)的管道，然后再進行檢漏（或者在可疑閥門的一側(cè)連接檢漏儀，向另一側(cè)的管道內(nèi)充入氦氣進行檢漏）。
動態(tài)泄漏
真空系統(tǒng)中有運動傳遞的地方會采用動密封，這些動密封結(jié)構(gòu)，很有可能在靜態(tài)的時候密封良好而運動的時候產(chǎn)生泄漏；比如采用橡膠軸封做動密封（閥桿與閥體之間）的閥門，就比較容易發(fā)生這種現(xiàn)象。這種現(xiàn)象發(fā)生的概率不高，不過由于檢漏時閥門一般是處于打開或關(guān)閉的某一個狀態(tài)，這種動態(tài)泄漏很難被發(fā)現(xiàn)。
對于非常關(guān)鍵的工藝，選擇波紋管密封的閥門可以大大減小出現(xiàn)動態(tài)泄漏的概率；如果選用的還是軸封做密封的閥門，在檢漏時，向閥桿位置噴氦的同時，操作閥門進行動作，也可以很快地判斷該閥門是否存在動態(tài)泄漏。
值得注意的是，真空腔體檢漏的要求較高，不僅需要操作者具備扎實的基礎(chǔ)知識、豐富的操作經(jīng)驗，而且現(xiàn)場情況也復雜多變。因此，出現(xiàn)問題，最好尋求安捷倫真空等專業(yè)公司專業(yè)人員的幫助。（可以在“安捷倫真空”公眾號上直接發(fā)送問題或需求，與工程師在線交流。）
