針對高/低溫制程，Busch 普旭最新的真空解決方案來了！
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2020-07-30 閱讀
【康沃真空網】6月 27 – 29 日， Busch在參加半導體及平板顯示行業的首展——SEMICON/FPD China 2020 時展示了全新適用于高溫制程工藝的真空解決方案。
Busch 普旭 2020 年全新推出的的 COBRA DS 1200 A 干式螺桿真空泵適用于氣體溫度超過 250℃ 的嚴苛工藝。
高性能：先進的螺桿設計、卓越的運行品質、集成的羅茨泵，完美適用于太陽能、平板和半導體應用，以及需要高溫氣體的嚴苛工藝，如刻蝕和化學氣相沉積，極佳的粉末處理能力配合 tantal 涂層的螺桿使其更適用于眾多嚴苛應用；
高效：成本低、維護工作量少、保養周期及正常運行時間長、抽氫能力強、能耗低、可變溫控制；
結構緊湊：一體化設計，罐式電機、前級泵和羅茨泵直接安裝在緊湊的基架上，振動值低，同時，對于極具挑戰性工藝中的低溫制程，Busch 普旭全新的 COBRA BC 1200 A 干式螺桿真空泵也可以在氣體溫度低于 80℃ 的工藝中游刃有余。
高效：成本效益高、正常運行時間長、節能。
維護簡易：先進的螺桿設計，采用無油和無接觸技術，維護間隔長,
靜音：噪音等級＜62 dB(A)
