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　　【康沃真空網】日前，半導體真空裝備制造商生波智能宣布完成億元級A輪融資。據了解，本輪融資資金將用于半導體先進工藝制程設備的研發、安徽滁州明光“半導體大型真空鍍膜設備項目”制造基地建設、擴充企業產能等。

　　生波智能及其前身公司已有超過10年發展歷史。公開資料顯示，生波智能是一家高端智能化半導體真空裝備制造商，以真空鍍膜工藝技術開發、真空鍍膜設備研發制造技術為核心，在等離子體源、PECVD源、PVD源等多種核心源部件擁有自主研發、制造能力。