【康沃真空網】近日，泛半導體智能制造整體解決方案供應商合肥欣奕華智能機器股份有限公司（以下簡稱“合肥欣奕華”）研發的用于鈣鈦礦太陽能電池生產的關鍵量產設備 Inline 鈣鈦礦真空鍍膜機已交付國內鈣鈦礦產業知名公司投入生產。
鈣鈦礦型太陽能電池(Perovskite Solar Cells)是指利用鈣鈦礦型的有機半導體作為吸光材料的太陽能電池，被視為下一代先進太陽能電池技術。鈣鈦礦太陽能電池因為高光吸收系數、超長載流子擴散長度、低激子結合能、高缺陷容忍度、帶隙可調、制備工藝多樣等優勢，成為第三代高效薄膜電池的代表，作為《“十四五”可再生能源發展規劃》中具有前沿性的新一代高效率、低成本的光伏創新技術，鈣鈦礦受到了廣泛關注，能源行業的頭部企業及一些跨界巨頭也紛紛布局，鈣鈦礦商業化量產進程進一步加快。
此次合肥欣奕華交付的Inline鈣鈦礦真空鍍膜機是國內首臺全自主研發面世的大尺寸鈣鈦礦真空鍍膜機，屬于鈣鈦礦電池制備核心設備，采用Inline System設計，無需工業機器人即可實現自動上下料，降低了成本，同時其獨特的間隙管理，可提高鍍膜效率，節約材料，減少污染，并且兼容多種材質基板。該設備滿足大面積鈣鈦礦膜層制備，有效提高材料利用率，確保大面積均勻性。“近年來我們持續加大研發投入，這款設備具有完全自主知識產權。此次我們主要攻克了真空鍍膜技術、高速率控制技術、摻雜化學反應的高混合比真空鍍膜技術和大面積高品質鈣鈦礦吸收層制備技術，合肥欣奕華的Inline鈣鈦礦真空鍍膜機能實現高質量均勻大面積成膜，穩定性高。”企業相關負責人表示。
自2015以來，合肥欣奕華一直緊跟蒸鍍機技術發展趨勢，適應產業發展動向，主動擁抱新工藝新技術。先后開發出應用于OLED材料、OLED小型器件制備研究驗證以及OLED面板量產工藝驗證的蒸鍍機，適用于 AR/VR 近眼顯示、智能穿戴等Micro OLED面板量產的硅基蒸鍍機和適用于光伏鈣鈦礦電池量產的鈣鈦礦真空鍍膜機。
