【康沃真空網】針對日益嚴重的環境和能源形勢，中國在第七十五屆聯合國大會上莊嚴提出：中國的二氧化碳排放力爭于2030年前達到峰值、2060年實現碳中和，即所謂的“雙碳”目標。光伏產業即是其中的重要一環，人類利用太陽能光伏電池發電以來，技術先后經過了多次迭代，目前以第三代的異質結電池為主。
▲圖1：光伏技術路線發展及迭代
太陽能電池板作為光伏發電設施的核心部件，它核心的半導體材料有：單晶硅、多晶硅、非晶硅及碲化鎘等。但其中無論是哪種類型，電池的生產過程的多個環節都需要用到真空技術。可以說沒有真空，就不可能有可再生能源。
例如，當前市場主流的晶硅電池的發展趨勢是優化電池背面的反射層，以增加電池內部的吸收（PERC-發射極及背面鈍化電池技術）。PERC層是由PECVD或ALD工藝經過額外的薄膜沉積而形成，其中的PECVD或ALD工藝需要真空一般為10-3hPa~10-5hPa。
第三代的異質結太陽能電池，結合了多種太陽能電池技術的優勢，例如，將太陽能晶圓裝入真空室，進行數道PVD和PECVD工藝，以生成多層太陽能電池。減少薄膜沉積材料消耗，提高晶體硅電池的高效率。沉積工藝的不同，獲得的薄膜層也不一樣，但所需真空大致相似，約為10-3hPa~10-5hPa。
▲圖2：晶硅太陽能電池片工藝
▲圖3：非晶硅薄膜電池片生產工藝
上述太陽能電池工藝都需要無碳的潔凈真空環境，同時由于電池層表面積較大，因此太陽能電池的生產環節對真空泵的抽速和潔凈度也提出了越來越高的要求。
鑒于此，歷時多年，中科九微先后攻克雙軸電機同步驅動技術、漸變螺桿的精密加工技術、特殊表面處理工藝等技術難關，并在2023年成功推出抽速高達2200m3/h和3000m3/h的節能干式真空泵，對應型號分別為SSH2220H和SSH3020H。
▲圖4：SSH3020H節能干式真空泵
SSH2220H、SSH3020H節能干式真空泵是光伏電池、平板顯示器、半導體生產等苛刻工藝以及眾多工業鍍膜應用的理想之選。
工作過程中，被抽介質經羅茨泵兩級壓縮后傳輸到螺桿泵，再由一對螺桿轉子沿著相反方向旋轉，將泵送的介質吸入泵腔和螺桿之間，經壓縮后輸送至排氣口。在此過程中，螺桿轉子間不會相互接觸，也不與泵腔接觸。
本次新推出的兩款產品，融合了中科九微多年的技術積淀，具有抽速大、體積小、節能明顯和耐粉塵能力強等諸多優點：
螺桿轉子
變螺距，連續壓縮，更節能
羅茨轉子
兩級壓縮，抽速快、壓比高
同步電機
變頻驅動，智能調速
苛刻制程
耐腐蝕涂層（H版本）
應用領域：光伏、鍍膜、平板、半導體、干燥
附：SSH系列技術參數：
