哈爾濱工業大學高真空表面活化鍵合系統國際招標
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2020-07-22 閱讀
天和項目管理有限公司受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2020-07-22在中國國際招標網公告。本次招標采用電子招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:哈爾濱工業大學高真空表面活化鍵合系統
資金到位或資金來源落實情況:國撥資金330萬元，資金已落實
項目已具備招標條件的說明:項目已批復
2、招標內容
招標項目編號:2243-204THJD20015
招標項目名稱:哈爾濱工業大學高真空表面活化鍵合系統
項目實施地點:中國黑龍江省
招標產品列表(主要設備):
3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:1.符合《中華人民共和國政府采購法》第22條規定的投標人；
2.本次招標項目的資質要求：
⑴對于國外、境外投標人，根據該國（地區）的法律在經營所在地注冊的有關證件、所投產品的合法來源證明（經銷協議或生產商授權函）（代理商作為投標人適用）。
⑵對于國內投標人，提供投標人的企業法人營業執照或事業單位法人證書、所投產品的合法來源證明（經銷協議或生產商授權函）（代理商作為投標人適用）。
3.投標人在線購買招標文件前，須在必聯網電子招標投標平臺上傳以下證明材料的彩色掃描件：
國外、境外投標人：授權委托書、被授權委托人的身份證明、經營所在地注冊的有關證件、經銷協議或生產商授權函（代理商作為投標人適用）、《哈爾濱工業大學招標采購項目投標報名登記表》、《投標人誠信承諾書》。
國內投標人：授權委托書；被授權委托人的身份證；營業執照或事業單位法人證書；基本賬戶開戶許可證或基本存款賬戶信息單；經銷協議或生產商授權函（代理商作為投標人適用）；《哈爾濱工業大學招標采購項目投標報名登記表》；《投標人誠信承諾書》。在受理投標登記后，不允許更換投標登記時擬派的授權委托人。
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2020-07-22
招標文件領購結束時間:2020-07-29
是否在線售賣標書:是
獲取招標文件方式:電子下載
招標文件售價:￥500/$80
5、投標文件的遞交
投標截止時間（開標時間）:2020-08-13 09:00
投標文件送達地點:在投標截止時間前，將投標文件電子版上傳至必聯電子招標投標平臺，并使用CA鎖進行加密。
開標地點:www.ebnew.com必聯平臺開標大廳
6、聯系方式
招標人:哈爾濱工業大學
地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區西大直街92號
聯系人:張老師
聯系方式:86-0451- 86417955
招標代理機構:天和項目管理有限公司
地址:哈爾濱市道里區鋼鐵街115號
聯系人:王先生
聯系方式:13154501501
1、招標條件
項目概況:哈爾濱工業大學高真空表面活化鍵合系統
資金到位或資金來源落實情況:國撥資金330萬元，資金已落實
項目已具備招標條件的說明:項目已批復
2、招標內容
招標項目編號:2243-204THJD20015
招標項目名稱:哈爾濱工業大學高真空表面活化鍵合系統
項目實施地點:中國黑龍江省
招標產品列表(主要設備):
| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 1 | 高真空表面活化鍵合系統 | 1套 | 1 設備名稱： 高真空表面活化鍵合系統 2 數量： 1套 3 設備用途說明： 高真空表面活化鍵合系統主要用于金屬、半導體及陶瓷等材料的室溫高強度鍵合，設備配備雙高真空室，氬（Ar）原子束活化源、真空機械轉移及高精度壓力傳感裝置，可應用于半導體芯片及未來光通訊芯片的制造。 4 技術要求及參數： 詳細見：技術性能指標表。 加“★”條款為必須滿足的條款，不得偏離，有任何一項不滿足將導致廢標。 加“▲”條款為重要條款，不滿足則扣5分，普通項不滿足則扣3分。 編號 招標技術指標名稱 招標技術指標值 1 應用范圍和要求 高真空表面活化鍵合系統主要用于金屬、半導體及陶瓷等材料的室溫高強度鍵合，設備配備雙高真空室，氬（Ar）原子束活化源、真空機械轉移及高精度壓力傳感裝置，可應用于半導體芯片及未來光通訊芯片的制造。 2 性能指標 1、表面活化鍵合系統 ★1.1 高速氬（Ar）原子束為活化源 （電源供電電壓：1kV，電流：200mA， 正常使用電壓：1kV， 電流：100mA) 1.2 晶圓有效活化面積可達2英寸； 1.3 氬（Ar）氣最大流量200sccm； 1.4 配備靜電吸盤夾持2英寸及以下晶圓； ▲1.5 Z軸壓力傳感器施加鍵合壓力范圍500N~5kN； 1.6壓力傳感器行程50mm； ★1.7旋轉泵+渦輪泵保證真空度可達2×10-6Pa； 1.8配置控制系統：觸摸屏+鍵盤一套； 2、存放、轉移系統 2.1待鍵合樣品存放室極限真空度10-3Pa； ★2.2 待鍵合真空室和表面活化鍵合室雙真空室一體化； ▲2.3 真空轉移裝置完成晶圓在真空腔體內的轉移； 3、其他要求 3.1 原裝設備生產制造，不接受組裝或貼牌系統； 3 調試培訓服務 1.至少一次現場免費培訓 2.滿足24小時熱線服務 4 其他要求 1. 紙質版交貨規格、說明書一份 5 配置清單及零配件（包括專用工具）： 序號 名稱 單位 數量 1 待鍵合樣品存放系統 套 1 2 表面活化鍵合系統 套 1 3 真空轉移單元 套 1 4 氣體引入系統 套 1 5 排氣系統（旋轉泵+渦輪泵） 套 1 6 控制系統（觸摸屏+鍵盤） 套 1 7 說明、操作手冊 套 1 |
3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:1.符合《中華人民共和國政府采購法》第22條規定的投標人；
2.本次招標項目的資質要求：
⑴對于國外、境外投標人，根據該國（地區）的法律在經營所在地注冊的有關證件、所投產品的合法來源證明（經銷協議或生產商授權函）（代理商作為投標人適用）。
⑵對于國內投標人，提供投標人的企業法人營業執照或事業單位法人證書、所投產品的合法來源證明（經銷協議或生產商授權函）（代理商作為投標人適用）。
3.投標人在線購買招標文件前，須在必聯網電子招標投標平臺上傳以下證明材料的彩色掃描件：
國外、境外投標人：授權委托書、被授權委托人的身份證明、經營所在地注冊的有關證件、經銷協議或生產商授權函（代理商作為投標人適用）、《哈爾濱工業大學招標采購項目投標報名登記表》、《投標人誠信承諾書》。
國內投標人：授權委托書；被授權委托人的身份證；營業執照或事業單位法人證書；基本賬戶開戶許可證或基本存款賬戶信息單；經銷協議或生產商授權函（代理商作為投標人適用）；《哈爾濱工業大學招標采購項目投標報名登記表》；《投標人誠信承諾書》。在受理投標登記后，不允許更換投標登記時擬派的授權委托人。
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2020-07-22
招標文件領購結束時間:2020-07-29
是否在線售賣標書:是
獲取招標文件方式:電子下載
招標文件售價:￥500/$80
5、投標文件的遞交
投標截止時間（開標時間）:2020-08-13 09:00
投標文件送達地點:在投標截止時間前，將投標文件電子版上傳至必聯電子招標投標平臺，并使用CA鎖進行加密。
開標地點:www.ebnew.com必聯平臺開標大廳
6、聯系方式
招標人:哈爾濱工業大學
地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區西大直街92號
聯系人:張老師
聯系方式:86-0451- 86417955
招標代理機構:天和項目管理有限公司
地址:哈爾濱市道里區鋼鐵街115號
聯系人:王先生
聯系方式:13154501501
