名稱
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數(shù)量
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簡要項目描述
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備注
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高真空低維納米薄膜聯(lián)合制備系統(tǒng)
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1套
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高真空條件下制備低維納米薄膜聯(lián)合制備系統(tǒng),需要實現(xiàn)高質量金屬薄膜、氧化物薄膜、半導體薄膜以及新型二維材料薄膜等多種薄膜的高質量均勻沉積功能;需要有多路氣路通道,可以在制備過程通入多種補償氣體,用于實現(xiàn)高質量的薄膜沉積。
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項目名稱:
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項目編號:
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投標人名稱:
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投標人納稅人識別號:
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投標人地址:
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聯(lián)系人:
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聯(lián)系電話:
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傳 真:
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聯(lián)系人郵箱:
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是否需要紙質招標文件
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