序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
1 | 氮化鎵真空烘烤爐 | 1 | *烘烤總承重不小于200Kg(含冶具),托盤支架在1650℃下承重不小于30Kg。 *最高溫度不低于1650℃,內置不小于9組加熱棒,九點均溫測試溫度均勻性小于±5℃。有過溫保護功能。 | |
2 | 砷化鎵(四元制程) 真空烘烤爐 | 1 | *烘烤總承重不小于200Kg(含冶具),托盤支架在1400℃下承重不小于30Kg。 *最高溫度不低于1400℃,內置不小于9組加熱棒,九點均溫測試溫度均勻性小于±5℃。有過溫保護功能。 | |
3 | 光致發光譜儀 | 1 | *可測GaN系列4-8inch樣品,并區別其厚度差異。 4inch樣品解析度:1mm 6inch樣品解析度:1.5mm 8inch樣品解析度:2mm |