磁控濺射鍍膜機采購競價公告
【康沃真空網】磁控濺射鍍膜機采購競價公告
| 項目名稱 | 磁控濺射鍍膜機采購 | 項目編號 | WUST-JJXM-20220048 |
| 項目編號 | WUST-JJXM-20220048 | ||
| 公告發布日期 | 2022/06/27 10:26 | 公告截止日期 | 2022/06/30 10:26 |
| 公告截止日期 | 2022/06/30 10:26 | ||
| 采購單位 | 武漢科技大學 | 付款條款 | 貨到驗收合格后一次性支付全款 |
| 付款條款 | 貨到驗收合格后一次性支付全款 | ||
| 聯系人 | 中標后在我參與的項目中查看 | 聯系手機 | 中標后在我參與的項目中查看 |
| 聯系手機 | 中標后在我參與的項目中查看 | ||
| 是否本地化服務 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 采購預算 | ￥193,000.00 | ||
| 送貨/施工/服務期限 | 合同生效之日起20日內 | ||
| 送貨/施工/服務地址 | 武漢市青山區武漢科技大學信息科學與工程學院 | ||
采購清單
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| 采購內容 | 是否進口 | 計量單位 | 采購數量 | 售后服務 | |
| 磁控濺射鍍膜機 | 否 | 1 | 1 | 1.1、在設備到達目的地后，投標人派工程師到用戶處免費進行設備的安裝、調試。 1.2.1、負責鍍膜系統的現場安裝和調試； 1.2.2、提供設備的操作培訓； 1.2.3、提供設備的常見問題處理培訓； 1.2.4、提供有關鍍膜工藝培訓，有專業的鍍膜工藝人員現場提供培訓，并提供設備試機時的金屬靶材。 2.1保修：合同設備安裝后，設備保修期為驗收合格后1年。 2.2合同設備出現故障時，投標人確保及時維修，并確保在接到用戶方服務要求的2小時內作出回應。 電話指導不能排除的故障，工程師可在1個工作日內到現場進行維修服務，僅收取材料成本費。 | |
| 參考品牌及型號 | 不限定品牌型號 | ||||
| 技術參數要求 | 1.真空系統及濺射真空室組件 1.1 真空系統：8L機械泵+KYKY FF-160/620C分子泵,配備超高真空主閥+全自動節流閥； 1.2真空室尺寸約300 mm ×300 mm× 350 mm，U型結構，正面開門結構，可烘烤100 ~ 150 度，選用優質不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進行特殊工藝拋光處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封； 真空室組件上焊有各種規格的法蘭。 2、磁控濺射靶組件至少2套 2.1、靶材尺寸：2英寸； 2.2、永磁靶：射頻濺射與直流濺射兼容，靶內有水冷； 2.3、氣動控制擋板組件：3套； 2.4、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之間的交叉污染； 2.5、傾斜向上濺射時，靶與樣品距離60 ~ 130 mm可調并有調位距離指示。當直接向上濺射時，靶與樣品距離40 ~ 80 mm可調，并有調位距離指示。 3、單基片加熱旋轉臺，基片通過加熱絲加熱方式，由熱電偶閉環反饋控制，可控可調，精度±1 oC；溫度均勻性在襯底上的偏差約≤ 2%； 4、窗口及法蘭接口部件 4.1、直徑大于100玻璃窗口：1塊； 4.2、陶瓷封接引線法蘭：1個（內烘烤引線）； 5、工作氣路（濺射室） 5.1、100 SCCM、50 SCCM質量流量控制器、進氣截止閥、混氣室、管路等： 6、離子源 配備一套離子源，用于輔助濺射。 7、安裝機臺架組件 型材框架，快卸圍板表面噴塑處理；機臺表面用不銹鋼蒙皮裝飾；四只腳輪，可固定，可移動； 8、真空測量及電控系統 8.1、電源機柜：2臺（含供電電源，有斷電保護功能）； 8.2、控制電源：1臺（為機械泵、電磁閥、升降電機等提供電源）； 8.3、冷卻水循環系統，制冷功率大于1P； 水流報警系統：2套（對分子泵、磁控靶有斷水報警切斷電源等相應功能）； 8.4、濺射室樣品加熱控溫電源：1套（日本產控溫表，可實現程序控溫）； 8.5、電機控制電源：1套； 8.6、靶擋板電源：2套； 8.7、加熱烘烤及照明電源：1套； 8.8、寬量程數顯真空計：2套；測量范圍：1.0 × 105 Pa ~ 1.0 × 10-5 Pa。 8.9、100 SCCM、50 SCCM質量流量控制器：2套； 8.10、分子泵控制電源：1套； 8.11、500 W射頻電源：1套（配自動匹配器）； 8.12、500 W直流電源：1套； 9、控制系統 配備觸摸屏自動控制，可實現全自動鍍膜，提供ITO、AZO、氧化鎳、氮化鈦鍍膜工藝； | ||||
