【康沃真空網】一、項目名稱：原子層沉積設備
二、項目編號：S2022073
三、采購人：蘇州大學采購與招投標管理中心
地址：江蘇省蘇州市東環路50號凌云樓0904室
郵編：215021 傳真：0512-67165076
聯系人：丁老師 電話：0512-67504198，67504359
電子郵箱：dingy@suda.edu.cn
技術聯系人：彭老師 電話：0512-65880031，13862110936
電子郵箱：jpeng@suda.edu.cn
四、采購貨物品名、數量及主要性能參數要求
原子層沉積設備 1套
（一）主要性能參數要求
1. 工作條件
1.1 電源電壓：AC 380V±10%，50Hz，三相五線
1.2 滿足長時間連續工作（滿足7×24，即每周7天、每天24小時運行）
2. 設備基礎要求
2.1 主機
2.1.1樣品臺尺寸為φ200mm，高度可調，可放樣品高度為10mm
2.1.2配備4 路前驅體源管路，2路常溫源適用于飽和蒸汽壓較高的源，2 路可加熱源適用于需要加熱的固態或液態源，預留2路可加熱源位置用于擴展
2.1.3配備1路H2O反應物管路，反應物管路配備1個進口閥門，閥門最高耐溫150℃
2.2. 適用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工，設備運行過程中，整機外殼溫度均不高于60℃，以保證操作的安全性
2.3 真空腔
2.3.1 真空腔材質為不銹鋼，腔體表面經過電解拋光處理
2.3.2 樣品臺室溫至500℃可控，尺寸不小于φ200mm，可放樣品高度不小于10mm
2.3.3 腔體進氣方式：前驅體蒸汽通過噴淋頭進入真空腔，蒸汽自上而下流經襯底
*2.3.4 腔體開關方式：可通過界面操作系統自動開關腔門，配備安全互鎖檢測功能，確保腔門在安全狀態下開關；耐腐蝕O-ring密封
*2.3.5 腔體具備快速開關真空隔離裝置，防止前驅體氣體和等離子體活性自由基交叉污染，避免污染電感耦合等離子體反應裝置
2.3.6 真空腔體上方具備獨立的反應氣擴散區域，配備活動式結構，腔體上方所有結構可完全打開，便于清潔
2.3.7 反應腔體內部配備可更換式內襯，維護時便于更換
2.4 氣路
*2.4.1 至少配備4路前驅體源管路：2路常溫源、2路加熱源（不低于150℃）；其中兩路常溫源管路需加配耐腐蝕微調閥
2.4.2 每個前驅體源氣路至少配備1個源瓶（≥250mL）和2個進口閥門
2.4.3 閥門配備安全互鎖檢測功能，在真空腔門打開時處于強制關閉狀態，防止前驅體暴露在空氣中
2.4.4 至少配備1路反應物管路，反應物包含H2O，每路反應物管路分別配備1個進口閥門，閥門最高耐溫不小于150℃
2.4.5 反應物H2O管路需加配微調閥且配備1個經過電解拋光處理且體積不小于75mL的不銹鋼源瓶
2.4.6 前驅體管路配有載氣（N2），載氣管路前端需配備計量調壓閥、氣動閥等
2.4.7 吹掃管路采用1個質量流量控制器和1個進口閥門(閥門最高耐溫不小于150℃)用于控制惰性氣體
2.4.8 管路及接頭均采用EP級電解拋光不銹鋼材料，所有氣體管路連接處采用金屬VCR密封
2.4.9 管路排布符合工業標準，從源瓶到真空腔的所有管路配備加熱箱，保證管路、閥門等位置受熱均勻
2.5 源瓶系統：室溫至150℃可控，控制精度：±1℃
*2.6 加熱箱：室溫至150℃可控，控制精度：±1℃，要求所有管路放置在加熱箱內實現一體式加熱，加熱箱內管路溫度均勻性±5℃
2.7 采用固態繼電器用于控制加熱，符合UL、CSA、ROHS標準
2.8 真空泵采用雙級油封式旋片真空泵，抽速65m3/h，噪音不大于62dB
2.9 真空測量：至少配備2個真空壓力計，包含一個高真空壓力計和一個大氣真空壓力計
2.10 真空壓力計采用薄膜規，要求高精度，長壽命，必須對腐蝕性介質具有極高的耐受性，可在工藝進行的同時進行壓力監測，精度：±0.25%讀數；響應時間<20ms；分辨率≤0.005%FS；符合CE，ROHS規范
3. 設備軟硬件規格
3.1 控制系統配備工控機和PLC，工控機配備SSD固態硬盤，安裝正版操作系統；PLC可支持2ms掃描周期
3.2 輸入設備配備鼠標、鍵盤和觸摸顯示器，顯示器尺寸不小于19inch，可360度自由旋轉，可調視距、視角、自由懸停
3.3 界面操作系統支持歷史數據、報警日志的存儲和導入導出功能
3.4 界面操作系統需實時展示系統加熱狀態、所有閥門開關狀態、腔室壓力狀態
3.5 界面操作系統具備配方編輯功能，可對工藝參數沉積溫度、循環次數、脈沖時間等進行編輯
3.6 用戶可設定設備及工藝運行時的報警參數，包括但不限于溫度、壓力、流量等
3.7 用戶可設定設備及工藝運行時的提醒參數，包括前驅體源用量追蹤及提醒功能
3.8 界面操作系統具備用戶權限管理功能，可根據用戶級別設定使用權限，針對操作人員分級管理
3.9 界面操作系統支持多個配方交替運行，實現單一和多層薄膜材料的制備
3.10 界面操作系統可自動完成Thermal-ALD和PEALD的單一或多層配方運行
3.11 界面操作系統配備獨立的維護界面，所有管路具備自動清洗功能，確保ALD閥門與真空腔之間的管路沒有前驅體殘留
3.12閥門配備電磁閥，電磁閥響應時間<5ms，帶過電壓保護回路，帶動作指示燈
3.13電氣硬件互鎖設計包含CDA等硬件互鎖（Interlock）功能，防止誤操作的發生，保證設備和人身安全
4. 等離子體系統
4.1 采用電感耦合(ICP)遠程等離子體激發源
*4.2 配備射頻電源，頻率13.56MHz，功率不小于1000W，冷卻方式為風冷。功率輸出穩定度及功率調節精度不大于10W，功率轉化效率不小于65%，雜散功率抑制不小于-60dBc，諧波抑制不小于-50dBc
4.3 配備自動匹配器，可自動進行阻抗匹配，縮短匹配時間
4.4 配備自動匹配器集成步進馬達和驅動器，集成VI傳感器，傳感器具備檢測射頻功率輸出端參數功能，匹配時間不大于3s
4.5 配備3路氣體管路，包含N2、O2、H2
4.6 每路氣體管路配備1個進口閥門和1個質量流量控制器
4.7 等離子體工藝啟輝窗口，功率范圍30 W～1000W，壓力范圍0.05 Torr ～1.0Torr
5. 熱阱加熱器
5.1 設備配備熱阱加熱器用于處理反應殘余氣
5.2 熱阱加熱器內部阱芯可更換
5.3 熱阱加熱器最高可加熱溫度不小于400℃，控溫精度±1℃
6. 工藝及服務
6.1.1 工藝驗收標準：8英寸（200mm）單晶硅片基底上沉積30nm Al2O3薄膜，薄膜的不均勻性＜2％（均勻九點）
6.1.2提供原子層沉積工藝技術支持
（二）質保期不少于1 年
（三）報價要求
若采購需求未發生實質性變動（由磋商小組進行認定），本項目將不再組織二次報價，即以供應商響應文件中的報價為最終報價。
五、評分標準
本次磋商采用綜合評分法，總分為100分，具體內容如下：
（一）技術參數、配置及整體綜合性能分（50分）
1．技術參數及配置（35分）
以供應商提供的能直接反映該產品技術參數的彩頁或產品說明書等作為主要評判依據，其他情況由磋商小組根據實際情況進行評判。
（1）所提供產品多項不滿足磋商公告標注“*”要求（偏離），或參數偏離超出用戶教學、科研可接受范圍的，經磋商小組評審可作為無效響應文件。
（2）所提供產品不滿足磋商公告標注“*”要求（偏離）、配置不詳、技術參數不明確、缺漏項的，每處扣5分。
（3）所提供產品不滿足磋商公告未標注“*”要求（偏離）、配置不詳、技術參數不明確、缺漏項的，每處扣2分。
2．綜合性能情況（15分）
（1）所提供產品性能參數優于競爭性磋商文件中技術要求情況（磋商小組認為超出指標有意義的）（6分）。其中優于項，每處加2分。
（2）所提供產品的市場反饋情況（9分）。根據所提供產品的品牌影響力、市場占有率（同行業為主）、現有用戶的反饋情況、使用提供產品發表的學術論文情況等綜合評定。
（二）價格分（35分）
1．基準價：滿足競爭性磋商文件要求且價格最低的報價為基準價，基準價為滿分35分；
2．其他供應商的報價得分按照下列公式計算：報價得分＝（基準價／報價）×35分。
（三）綜合商務（15分）
1．供應商綜合實力（2分）
根據供應商綜合實力評定。
2．售后服務與培訓情況等（10分）
（1）質保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年質保期加1分。
（2）服務、技術支持與培訓承諾情況（7分）。
根據磋商響應文件的相關承諾、服務網點設置情況、服務響應時間、免費培訓次數、現有用戶對產品售后服務情況及服務水平的反饋等綜合評定。
3．其它（3分）
（1）磋商響應文件質量（1分）。根據磋商文件的規范性、完整性等情況綜合評定。
（2）其它優惠措施等（2分）。根據供應商提供的在磋商文件要求范圍以外，磋商小組認可的優惠措施綜合評定。
六、磋商響應報價應包括所報儀器設備費、安裝調試費、測試驗收費、培訓費、運行維護費、稅金(含美國產品被加征關稅)、國際國內運輸費、保險和其他為完成本項目所發生的一切費用。
七、供應商資質要求
（一）在中國境內注冊成立的企業，具有獨立法人資格。
（二）經營范圍包含報價產品。
（三）本項目不接受聯合體報價。
八、磋商響應文件的組成
（一）磋商響應文件一般由下列材料組成（部分表格樣式見附件），復印件須加蓋供應商公章，所有材料須按序裝訂成冊：
1. 磋商響應資料與頁碼對照表。
2. 磋商響應函（原件）。
3. 響應基本情況一覽表（原件）。
4. 詳細配置清單（原件）。
5. 技術規格偏離表（原件）。
6. 公司簡介（包括響應單位的資質、業績、獲得的榮譽等，原件）。
7. 資格證明材料
（1）營業執照、稅務登記證以及組織機構代碼證（復印件）。
（2）法定代表人授權書（原件）。
（3）法定代表人身份證明材料（如身份證、護照等）（復印件）。
（4）法人授權代表身份證明材料（如身份證、護照等）及單位社保證明（復印件）。
（5）供應商最新的年度審計報告或財務報告（復印件）。
（6）儀器設備生產或經營企業許可證（復印件，特殊行業必須提供）。
（7）儀器設備銷售代理授權證明（非投標產品生產制造廠商投標的，須按第2.2條要求提供，專項授權書提供原件、代理證書提供復印件）。
（8）有關質量認證中心出具的質量體系認證證書（例如：ISO、FDA、CE、3C等，國家強制要求的設備必須提供，復印件）。
（9）近三年來與本次磋商儀器設備相同產品的用戶名單及聯系方式（以教學、科研用戶為主，原件）。
8. 服務措施、服務承諾（主要包括針對本項目的服務、培訓方案及其他優惠措施等）（原件）。
9. 供應商認為應該提供的其他材料。
（二）特別說明
1. “磋商響應文件”應裝訂并密封，并加蓋投標單位公章；
2. 正本一份，副本三份，如副本與正本有出入，以正本為準；
3. 相關材料及填寫規范按照《蘇州大學招標采購儀器設備投標人須知》第三條“投標文件”中的具體要求執行。
九、貨物交貨期、交貨地點、付款方式、安裝、調試、驗收以及售后服務等相關商務要求，參照《蘇州大學招標采購儀器設備投標人須知》第21條中的要求執行。
十、磋商文件價格：人民幣500元（相關繳納事宜詳見附件2），售后不退。
十一、供應商在報名前，須認真閱讀《蘇州大學招標采購儀器設備投標人須知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在2022年9月12日12：00前將報名函（格式見附件3）發送郵件至采購人處（dingy@suda.edu.cn）。
十二、遞交磋商響應文件相關事宜：
（一）順豐郵寄（建議優先采用）
1.寄達時間：2022年9月16日9：00前；
2.收件人信息：
收件人：丁悅
聯系方式：13862165427
收件地址：江蘇省蘇州市東環路50號蘇大東校區（采購與招投標管理中心）
（二）現場遞交
1. 現場遞交時間：2022年9月16日8：30～9：00
2. 現場遞交地點：江蘇省蘇州市東環路50號蘇州大學東校區東大門
十三、遞交磋商文件截止時間：2022年9月16日9：00。
十四、磋商時間：2022年9月16日9：00。
