【康沃真空網(wǎng)】反應離子刻蝕機項目已具備招標條件。資金來源100%自籌資金。中科信工程咨詢（北京）有限責任公司（招標代理機構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。
1. 招標范圍
1.1 貨物名稱：反應離子刻蝕機
1.2 招標編號：0779-22400316A061
1.3 設備組成及技術性能：
1.3.1 設備組成
反應離子刻蝕機可實現(xiàn)對SiO2、SiNx等介質(zhì)材料和硅的干法刻蝕。反應離子刻蝕機主要由以下幾部分組成：反應腔室、上電極、下電極、射頻源、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、預真空室、控制系統(tǒng)與軟件等。
1.3.2 技術性能
1.3.2.1 反應腔室：至少5個真空法蘭接口：1個DN63觀察窗，1個接薄膜電容真空計，1個連接預真空室loadlock，2個備用。
1.3.2.2 上電極：上電極采用鉸鏈，開腔時無需將整個反應腔升起；上電極中央配置用于原位檢測的光學窗口。
1.3.2.3 射頻源：射頻發(fā)生器：頻率13.56 MHz，功率≥600 W；可預選和控制正向功率或直流偏置電壓；測量、顯示正向功率和直流偏置電壓。
1.3.2.4 真空系統(tǒng)：反應腔室配有前級泵及渦輪分子泵；采用防腐蝕渦輪分子泵，抽速≥340 L/s；
1.3.2.5 氣路系統(tǒng)：氣路柜中的質(zhì)量流量計到反應腔的距離不超過100 cm，以保證快速的氣體切換；
1.3.2.6 預真空室Loadlock：配置氣動傳送機構(gòu)和透明上蓋，自動、平穩(wěn)地裝卸樣品；配置單獨的干泵和真空計，本底真空≤10-1 mbar；真空漏率<5×10-4 mbar?L/s。腔室可單獨用氮氣吹掃。
1.4 數(shù)量：1臺（套）。
1.5 交貨期：合同簽訂后8個月內(nèi)交貨。
1.6 項目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研究所。
2. 對投標人的資格要求
2.1 投標人具有獨立法人資格，提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。
2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供授權書。
2.3本次招標不接受聯(lián)合體投標。
2.4投標人必須向招標代理機構(gòu)購買招標文件并進行登記才具有投標資格；接受委托參與項目前期咨詢和招標文件編制的法人或其他組織不得參加投標。
3. 招標文件獲取
3.1凡有意參加投標者，請于2022年10月26日至2022年11月2日17時(北京時間)，將招標文件購買費用支付至中科信工程咨詢（北京）有限責任公司（開戶行：華夏銀行北京西客站支行；帳號：10235000000047830）后登錄航空工業(yè)電子采購平臺（上傳匯款底單和下載招標文件,現(xiàn)場不予受理。如有疑問，請致電航空工業(yè)電子采購平臺服務熱線400-890-0880。
3.2 招標文件售價800元，售后不退。
3.3 投標人必須在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)相關說明）。
4. 投標文件的遞交
4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2022年11月16日13時30分，投標人必須在此時間前將加密的電子版投標文件傳至航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)并在此時間前現(xiàn)場遞交單獨密封的紙質(zhì)版投標文件。
4.2 紙質(zhì)版投標文件遞交地點為北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路交叉口東南角88號大樓一層會議室。逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。
5發(fā)布公告的媒介
本次招標公告同時在航空工業(yè)電子采購平臺電子招投標專區(qū)、中招聯(lián)合招標采購平臺、中國國際招標網(wǎng)和中國招標投標公共服務平臺上發(fā)布。
6.聯(lián)系方式
招標人名稱：中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研究所
地址：北京市海淀區(qū)太舟塢
聯(lián)系人：王賽
電話：010-62459043
招標代理機構(gòu)名稱：中科信工程咨詢（北京）有限責任公司
地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓
售賣聯(lián)系人：劉女士
電話：010-88529059
郵箱：zhaobiaobu@zonkex.com
2022年10月26日
