【康沃真空網】上海中世建設咨詢有限公司受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2022-11-09在中國國際招標網公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:本項目采購內容分為六個包件，投標人可對下述任一個包件或多個包件進行投標，具體如下：
包件一： 等離子體化學氣相沉積（PECVD）
包件二： 等離子增強原子層沉積系統
包件三： 高分辨率X-射線衍射儀
包件四： 磁控濺射鍍膜系統、電子束蒸發鍍膜系統
包件五： 半導體綜合測試系統-變溫真空探針臺
包件六： 臺式微納結構高速直寫系統
資金到位或資金來源落實情況:已落實
項目已具備招標條件的說明:已具備
2、招標內容
招標項目編號:1069-224Z20223841/04
招標項目名稱:華東師范大學等離子體化學氣相沉積（PECVD）、等離子增強原子層沉積系統、高分辨X射線衍射儀等設備采購項目
項目實施地點:中國上海市
招標產品列表(主要設備):
| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 1 | 磁控濺射鍍膜系統 | 1套 | *鍍膜均勻性指標：3英寸靶槍在6英寸硅片鍍制150nm以上的薄膜，均勻性不大于+/-5%，從基片中心到基片邊緣每隔0.5英寸取一個測量點（去掉5mm邊緣），使用臺階儀對每個點測量三次，取平均值，均勻性計算公式：(((最大 – 最小) / 最大) * 100) / 2 = +/- 均勻性%； 前級泵配置一臺抽速不低于6.7cfm的干式渦旋泵。正常運轉時噪音不大于52db，關閉氣鎮閥后極限真空可達5X10-3torr，采用KF25接口； | 包件4 |
| 2 | 電子束蒸發鍍膜系統 | 1套 | *鍍膜均勻性指標：6英寸硅片鍍制150nm以上的薄膜，均勻性不大于+/-5%，從基片中心到基片邊緣每隔0.5英寸取一個測量點（去掉5mm邊緣），使用臺階儀對每個點測量三次，取平均值，均勻性計算公式：(((最大 – 最小) / 最大) * 100) / 2 = +/- 均勻性%； 膜厚控制系統集成在設備控制軟件內，最多可控制5個晶振傳感器； | 包件4 |
3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:3.1投標人或制造商（如適用）有效的營業執照
3.2本次招標所涉及到的產品若非自主研發生產，投標人須提供制造商針對本項目的唯一授權書
3.3參加本次招標活動前3年內，投標人在經營活動中沒有違法記錄，無利用不正當競爭手段騙取中標，無行賄犯罪記錄；
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2022-11-09
招標文件領購結束時間:2022-11-16
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現場領購
招標文件領購地點：上海市曹楊路528弄35號中世辦公樓5樓招標部辦公室
招標文件售價:￥500/$70
其他說明:未領購招標文件的供應商不得參加投標。招標文件發售期截止后，購買招標文件的潛在投標人少于3個的，招標人可以依法重新招標；報名須提交的下述資料:單位負責人委托書、被授權代表身份證；注：在上述時間段內至代理公司進行現場報名或微信公眾號報名、領購招標文件，逾期不再辦理。報名時提供的資料應與投標文件中的資格證明文件一致，如有不同，以投標文件為準。供應商可關注“中世建咨”微信公眾號，主界面右下角點擊“投標報名”完成微信報名登記。
5、投標文件的遞交
投標截止時間（開標時間）:2022-11-30 11:00
投標文件送達地點:上海市曹楊路528弄35號中世辦公樓會議室，具體詳見一樓大屏幕
開標地點:上海市曹楊路528弄35號中世辦公樓會議室，具體詳見一樓大屏幕
6、投標人在投標前應在必聯網（https://www.ebnew.com）或機電產品招標投標電子交易平臺（https://www.chinabidding.com）完成注冊及信息核驗。評標結果將在必聯網和中國國際招標網公示。
7、聯系方式
招標人:華東師范大學
地址:中國上海市中山北路3663號
聯系人:劉老師
聯系方式:021-62232260
招標代理機構:上海中世建設咨詢有限公司
地址:中國上海市曹楊路528弄35號
聯系人:趙貞、馬昕雨、嚴飛
聯系方式:021-62441033
8、匯款方式:
招標代理機構開戶銀行(人民幣):上海銀行愚園路支行
招標代理機構開戶銀行(美元):上海銀行長寧支行
賬號(人民幣):31641800003023916
賬號(美元):3164631405000272107
其他:SWIFT CODE：BOSHCNSHXXX
9、其他補充說明
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