【康沃真空網】上海滬港建設咨詢有限公司受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2022-11-29在中國國際招標網公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:復旦大學原子層沉積設備采購
資金到位或資金來源落實情況:已到位已落實
項目已具備招標條件的說明:已具備招標條件
2、招標內容
招標項目編號:2000-224HG2206027
招標項目名稱:復旦大學原子層沉積設備采購
項目實施地點:中國上海市
招標產品列表(主要設備):
| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 1 | 原子層沉積設備 | 1 | 3、設備要求和技術規格 3.1.反應腔 3.1.1.★反應腔達到或優于沉積8英寸，向下兼容4英寸的襯底。 3.1.2.★反應腔體最高加熱溫度≥200℃,溫度控制精度小于±1℃或更優。 3.1.3.★反應腔體基板加熱溫度≥500℃,溫度控制精度小于±1℃或更優。 3.1.4.★采用干泵和分子泵兩級真空系統，反應腔體抽取本底真空至少2×10-6 Torr或更優。 3.1.5.沉積腔高度≥30cm。 3.2.傳輸腔： 3.2.1.★反應腔體和傳輸腔體之間需配備自動閥門，需在不打開反應腔情況下裝卸樣品，自動完成反應腔和傳輸腔之間樣品的傳送。 3.2.2.傳輸腔配備干泵和分子泵兩極真空系統，傳輸腔體真空度≥2×10-6Torr或更優。 3.2.3.傳輸腔需配置觀察視窗。 3.3.前驅源系統 3.3.1. 前驅體氣體管路需滿足有毒性氣體或易燃性工藝氣體的適用要求，管路需配備ALD閥、不銹鋼管路和 VCR 連接器等配置。 3.3.2.★設備配置6條以上完全獨立的前驅源管路及源瓶，每一路都需用于液體，氣體或者固體的前驅源，并可隨時切換前驅源。 3.3.3.★從前驅源瓶到泵之間的所有管路需能加熱，其中從前驅源瓶到反應腔的管路需能加熱至200℃以上。從反應腔到泵之前的管路需能加熱至120℃以上，溫度控制精度±1℃或更優。 3.3.4.★每個前驅源鋼瓶均需能單獨加熱到190℃以上，溫度控制精度±1℃或更優，3路前驅源鋼瓶容積50ml或更優。 3.3.5.★單源脈沖時間需精確控制到0.015s或更優。 3.3.6.源瓶及其與之相聯接的管路和閥門系統須配備相應措施與設計，確保在更換源瓶過程中不會被污染，以方便料源的更換。 3.3.7.配置有聯鎖裝置，以防止氧化氣體和還原性氣體的混合。 3.4. 等離子系統 3.4.1.★配備ICP遠程脈沖等離子體源，脈沖開關時間＜1ms；射頻電源頻率為13.56MHz，射頻功率需能達300W以上，功率可調節。 3.4.2.等離子體發生腔與樣品垂直距離大于25cm或更優,最大程度避免等離子體損傷。 3.4.3.★等離子體包括大于等于6路獨立的等離子體工藝氣體管路和1路工藝載氣，工藝載氣使用量單脈沖不大于100sccm。 3.4.4.等離子體源必須足夠靈活，需能在富離子和富自由基的模式下工作。 3.4.5.★等離子體源和襯底之間沒有移動部件(如百葉窗或閘閥)或中和器網格，以減少等離子體沉積過程中粒子的產生。 3.4.6.等離子源系統具備升級為Al2O3等離子管或更優的能力。 3.4.7.每一路氣體需配備自己獨立的質量流量控制器和關閉閥,MFC精度優于±1%。 3.5.軟件及操作安全的技術要求 3.5.1.儲存、讀取功能，能夠導出實驗數據，顯示運行時間內設備系統各部分參數的時間趨勢圖，包括各部分質量流量、溫度、壓強的時間趨勢圖，用于監測設備穩定性；沉積過程中監測顯示每個源管路的脈沖壓強，顯示脈沖壓強與時間關系圖，用于監測脈沖穩定性；軟件應具有分級登錄系統，不同的操作人員有不同的用戶訪問級別，在高層登錄時，系統軟件中應可選擇每一層操作員能夠訪問的功能。 1.5.2.為了確保操作人員及設備的安全，需配備設備緊急關閉按鈕，并具有添加更多按鈕的能力。 3.6.其他技術要求 3.6.1.★膜厚均勻性：< 1% 1σ。 3.6.2.★薄膜生長速率：Al2O3薄膜生長200 cycles，Plasma @250-300℃: ≥ 0.9A ± 0.1 A/cycle, Al2O3 沉積循環周期時間：≤8 秒/cycle； Al2O3 Thermal @250-300℃: ≥1.0A ± 0.1 A/cycle, Al2O3 沉積循環周期時間：≤8 秒/cycle。 3.6.3.★需配置過濾吸附阱。 3.7.主機、附件詳細清單： 8英寸Wafer的不銹鋼單反應腔室1個，向下兼容4英寸或更優； 自動Load-Lock基片裝載系統1套； 由MFC控制的反應氣體管路6路； 由MFC控制的工藝載氣1路； 反應前驅源管路(每路分別包含ALD專用閥門、帶加熱的前驅源鋼瓶和不銹鋼管路)6路 真空干泵+渦輪分子泵1套 ICP遠程脈沖等離子源套件（包括離子源、阻抗適配器、RF電源）1套； ALD過濾吸附阱1個； 控制系統采用LabView 系統控制，人機界面由基于Win10 軟件系統的電腦控制； 機柜1個。 3.8計量標準 設備的設計和制造符合出廠技術指標要求，并符合ISO國際標準；所有的可更換零部件和各種儀表的計量單位和標出單位應全部采用國際單位（SI）標準；設備符合有關國際和中國國家安全標準，以及相應的安全與健康及環保要求。 |
3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:1）投標人應為符合《中華人民共和國招標投標法》規定的獨立法人或其他組織；
2）投標人應為投標產品的制造商或其合法代理商，代理商投標應提供投標產品的制造商針對本項目的正式授權；
3）投標人須在投標截止期之前在國家商務部認可的機電產品招標投標電子交易平臺（以下簡稱機電產品交易平臺，網址為：http://www.chinabidding.com）上完成有效注冊；
4）本項目不允許聯合體投標。
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2022-11-29
招標文件領購結束時間:2022-12-06
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現場領購
招標文件領購地點：郵件獲取
招標文件售價:免費
其他說明:有興趣的潛在投標人應于2022年11月29日起至2022年12月6日（16:00止（北京時間），通過郵箱hgbbzb@163.com，并電話聯系招標代理機構（聯系電話：18879511350）獲取采購文件，逾期不再辦理。電子招標文件售價零元。未按規定從招標機構處獲取招標文件的潛在投標人將不得參加投標。
5、投標文件的遞交
投標截止時間（開標時間）:2022-12-20 15:00
投標文件送達地點:上海市徐匯區斜土路2358號（車行入口）斜土路2364號（人行入口）7樓會議室
開標地點:上海市徐匯區斜土路2358號（車行入口）斜土路2364號（人行入口）7樓會議室
6、投標人在投標前應在必聯網（https://www.ebnew.com）或機電產品招標投標電子交易平臺（https://www.chinabidding.com）完成注冊及信息核驗。評標結果將在必聯網和中國國際招標網公示。
7、聯系方式
招標人:復旦大學
地址:中國上海市楊浦區邯鄲路220號
聯系人:張老師
聯系方式:86-21-65641327
招標代理機構:上海滬港建設咨詢有限公司
地址:上海市徐匯區斜土路2358號（車行入口）斜土路2364號（人行入口）
聯系人:戚老師、王老師
聯系方式:17811909079、18879511350
8、匯款方式:
招標代理機構開戶銀行(人民幣):
招標代理機構開戶銀行(美元):
賬號(人民幣):
賬號(美元):
