真空磁控濺射設備競價公告
| 項目名稱 | 真空磁控濺射設備 | 項目編號 | TYLGJJCG2022-0305 |
| 項目編號 | TYLGJJCG2022-0305 | ||
| 公告發(fā)布日期 | 2022/12/05 16:31 | 公告截止日期 | 2022/12/08 16:31 |
| 公告截止日期 | 2022/12/08 16:31 | ||
| 采購單位 | 太原理工大學 | 付款條款 | 合同簽訂后預付合同金額的80%，貨到驗收合格后一次性支付剩余款項。 |
| 付款條款 | 合同簽訂后預付合同金額的80%，貨到驗收合格后一次性支付剩余款項。 | ||
| 聯(lián)系人 | 中標后在我參與的項目中查看 | 聯(lián)系手機 | 中標后在我參與的項目中查看 |
| 聯(lián)系手機 | 中標后在我參與的項目中查看 | ||
| 是否本地化服務 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 采購預算 | ￥198,000.00 | ||
| 送貨/施工/服務期限 | 合同生效之日起90日內 | ||
| 送貨/施工/服務地址 | 太原市萬柏林區(qū)迎澤西大街79號 | ||
采購清單
1
| 采購內容 | 是否進口 | 計量單位 | 采購數(shù)量 | 售后服務 | |
| 真空磁控濺射設備 | 否 | 套 | 1 | 1）所有儀器到達用戶指定地點后，技術工程師在接到用戶安裝調試要求10個工作日內上門免費安裝、調試。； 2）質保期為儀器安裝驗收合格后1年，質保期內，所有服務及配件全部免費； 3）制造商應終身負責維護維修。在用戶提出維修要求5個工作日內到達現(xiàn)場，及時幫助客戶解決問題，并免費對軟件進行升級； 4）供貨商免費提供現(xiàn)場培訓，同時應提供2名（每臺套）廠家培訓中心免費培訓名額。 | |
| 品牌及型號 | 華析 （HC-300） 泰科諾（JCP350） | ||||
| 技術參數(shù)要求 | 1.真空磁控濺射設備主要由真空腔室、磁控濺射靶、電源、基片臺、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、PLC+觸摸屏半自動控制系統(tǒng)等組成。 2.真空腔室： 1）結構：采用立式、圓柱體、氣缸助力上翻蓋結構； 2）材質及尺寸：采用SUS304優(yōu)質不銹鋼，Ф350×H350mm真空腔室；頂板焊水線； 3）腔室底部：2英寸圓形平面靶均勻分布；進氣電磁截止閥；充氣閥； 4）腔室頂部：旋轉基片臺；及自動翻蓋機構； 5）側部：DN150主抽氣口；前方配有一套觀察窗及擋板接口； 6）旋轉共濺射基片臺接口位于鍍膜室的頂部； 7）預留接口：裝膜厚儀以及其它用途； 8）Φ100mm觀察窗及擋板，位于前面； 9）腔室防污屏蔽板采用優(yōu)質不銹鋼材質，便于拆卸清理、更換等。 3.基片臺：抽屜式結構，基片臺尺寸Φ120mm，最大樣品尺寸小于Φ120mm：配有氣動基片臺擋板；配備通用夾具，方便用戶裝卡各種不同規(guī)格尺寸的基片；絕緣裝置：絕緣設計及絕緣件；基片臺電機驅動：旋轉轉速0～20轉/分鐘，連續(xù)可調；主軸磁流體密封；加熱：基片臺環(huán)境溫度800℃，采用鎧裝加熱器及絕緣、屏蔽等；采用固態(tài)繼電器和PID可編程智能溫度控制儀方式，實現(xiàn)加熱溫度自動控制。 4.濺射靶及電源：2只2英寸磁控濺射靶，靶角度、靶基距手動可調，永磁間接水冷方式，兼容直流、脈沖、射頻等電源；靶基距調整范圍80～110mm，方便調整最佳鍍膜距離；直流脈沖濺射電源1kW，數(shù)字化控制及顯示，1臺；射頻電源RF500W， 數(shù)字化控制及顯示，1臺；脈沖偏壓電源：-1kV，數(shù)字化控制及顯示，1臺。 5.真空系統(tǒng)：復合分子泵：JTFB-600，抽速600L/s；直聯(lián)高速旋片式真空泵：TRP-24，抽速6L/s，合資品牌，抽速快，低噪音；前級/旁路閥：DN40，氣動擋板閥；真空測量：“兩低一高”數(shù)顯復合真空計。 6.工作氣路系統(tǒng)：質量流量控制器及量程范圍：Ar，100sccm；N2，20sccm；電磁截止閥：Φ6mm；混氣管：三進一出。 7.氣路系統(tǒng)：電接點壓力表，用于氣體壓力保護報警；氣排，用于各閥門之間分氣使用。 8.電氣控制系統(tǒng)：1）采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，可實現(xiàn)自動一鍵式抽真空；2）控制內容：機械泵、前級閥的開與關；分子泵顯示及開關控制；真空計參數(shù)顯示及控制；基片臺轉速控制等；3）安全保護報警系統(tǒng)：在缺水、水壓過低情況下的報警系統(tǒng)；完善的邏輯程序互鎖保護系統(tǒng)。 9.含低噪音Ⅰ型空壓機一臺；含冷卻循環(huán)水機一臺。 10.機架控制柜：機架和控制柜一體化設計，碳鋼制作，底下配腳輪，方便移動、定位。 | ||||
